产品信息
产品简介
吉时利 Keithley 707B 半导体开关系统是一款专为半导体器件研发与生产测试打造的六槽矩阵开关主机，是 700 系列半导体开关系统家族中的旗舰产品。707B 主机最多可容纳六张 8×12 矩阵卡，在单台主机内实现高达 576 个开关路由通道，可同时处理多种器件类型与多组信号路径，极大地提升了测试系统的通道密度与灵活性。
通过背板级联或外部跳线，多张矩阵卡可组合构建更大规模的矩阵拓扑，满足晶圆探针台多路测试、多管脚器件全参数测试等高复杂度应用需求。707B 支持 LXI、GPIB、USB 等通信接口，内置 TSP 测试脚本处理器，可独立运行复杂测试序列，也可深度集成于吉时利 4200A-SCS 参数分析仪或 2600B 系列 SMU 构成的自动化测试系统。
707B 完全向下兼容为 707A/708A 主机设计的全系列插件卡，支持现有测试系统的无缝升级，并可扩展至最大 2880 通道（全系统级联）规模，适用于半导体研发与大规模生产测试的全生命周期需求。
产品优势
六槽大容量，高通道密度
707B 的六槽设计在单台主机内即可实现最高 576 路开关通道（6 张 7072 卡），相比单槽 708B 通道密度提升六倍。通过在同一主机内混装不同类型的矩阵卡，可同时支持标准信号、高压信号及高频信号的多路路由，满足复杂器件的全面测试需求。
更快的命令连接速度
707B 相较于早期 700 系列主机（707A/708A）大幅提升了命令到连接的响应速度，显著降低了每次开关切换的延迟时间。在多通道顺序测试中，更快的切换速度可将整体测试时间压缩数倍，直接提升系统吞吐量，对半导体生产测试中的良率统计与测试成本控制具有重要意义。
灵活可扩展的矩阵拓扑
707B 主机内的多张矩阵卡可通过背板互联或外部跳线，组合构建 8×24、8×36、16×12等多种扩展矩阵配置，突破单卡 8×12 的限制。多台 707B 主机还可通过 TSP-Link 接口级联，构建跨主机的超大规模开关矩阵系统，通道总数可扩展至 2880 路以上，满足晶圆分类等大规模并行测试场景。
TSP 智能脚本处理与非易失性存储
内置 TSP 处理器支持在仪器本地运行 Lua 脚本测试程序，无需持续依赖外部控制器，降低系统复杂度。非易失性存储器可保存数百个切换配置和通道模式，便于生产测试中快速切换器件类型与测试方案。TSP-Link 技术支持多台吉时利仪器的同步触发与协同控制，构建高度集成的自动化测试单元。
与吉时利完整测试仪器生态集成
707B 可与吉时利 4200A-SCS 参数分析仪通过 GPIB 深度集成，实现半导体器件的I-V、C-V 及脉冲测试全覆盖；与 2600B 系列 SMU 配合，可构建高速多通道半导体生产测试系统。14 位数字 I/O 接口支持探针台步进器的外部触发与状态反馈，实现全自动晶圆测试流程。
向下兼容，保护投资
707B 完全兼容为 707A 和 708A 主机设计的全系列矩阵开关卡，用户无需替换昂贵的卡件即可将现有系统升级至 707B 主机，享受更快速度和更丰富的接口功能，同时保留全部原有测试能力。
产品参数
主机规格
参数 | 规格 | 说明 |
主机插槽数 | 6 槽 | 六槽旗舰设计 |
最大矩阵卡数 | 6 张 | 支持混装不同类型卡 |
最大通道数（7072卡满配） | 576 路（96×6） | 单主机最大配置 |
系统级联最大通道数 | 2880 路 | 多主机 TSP-Link 级联 |
最大工作电压 | 最高 1300 V | 取决于插卡型号（7072-HV） |
最大工作电流 | 最高 1 A | 取决于插卡型号 |
接触电阻 | <1 Ω（典型） | — |
绝缘电阻 | >1 GΩ | — |
数字 I/O | 14 位 | 支持外部触发与状态输出 |
非易失性存储 | 数百个开关配置 | 可快速调用 |
通信接口规格
接口类型 | 规格 | 用途 |
LXI（以太网） | RJ-45，100 Mbps，LXI Class C | 远程网络编程与 Web 界面 |
GPIB | IEEE-488.2 | 传统仪器总线接口 |
USB | USB 2.0 Device | PC 直连控制 |
TSP-Link | 专有高速互联接口 | 多仪器同步触发与级联 |
RS-232 | 标准串行接口 | 串行通信（可选） |
矩阵扩展配置
扩展方式 | 可实现矩阵规格 | 说明 |
单张 7072 卡 | 8×12，96 路 | 基础配置 |
背板级联（2 张 7072） | 8×24，192 路 | 内部背板连接扩展列 |
跳线级联（多张） | 16×12 / 8×36 等 | 灵活拓扑配置 |
6 张 7072 卡满配 | 最大 576 路 | 707B 单机最大通道数 |
多主机 TSP-Link 级联 | 最大 2880 路 | 系统级最大扩展 |
环境与物理规格
参数 | 规格 | 说明 |
工作温度 | 0°C ~ 50°C | — |
存储温度 | -25°C ~ 65°C | — |
相对湿度 | 最高 80% RH（40°C 以下） | 非冷凝 |
电源 | 100～240 V AC，50/60 Hz | 自适应宽压 |
机架占用 | 4U 标准机架 | — |
仪器配置
707B 主机支持六槽混装配置，用户可根据被测器件类型和测试参数需求，选择不同类型的矩阵卡组合，构建最优的信号路由系统。
支持的矩阵/开关卡
卡型号 | 矩阵配置 | 最大电压 | 最大电流 | 主要特性 |
7072 | 8×12，96路 | 200 V | 1 A | 标准半导体矩阵卡，低漏电流，IV/CV 信号切换 |
7072-HV | 8×12，96路 | 1300 V | 0.1 A | 高压矩阵卡，2 路 1300V 高压路径，2 路 C-V 路径 |
7174A | 8×12，96路 | 200 V | — | 低漏电流高速矩阵卡，3 片三同轴行列连接 |
7173-50 | 4×12（2极） | — | — | 高频矩阵卡，射频信号切换，带宽 200 MHz |
系统集成方案
搭配仪器 | 型号示例 | 典型应用 |
系统 SMU | 2600B 系列（2601B/2602B/2636B 等） | 高速多通道 I-V 特性自动化测试 |
参数分析仪 | 4200A-SCS（含 PMU/CVU 模块） | 完整 I-V/C-V/脉冲多通道表征 |
数字万用表 | 2000/2100 系列 | 多路电阻/电压顺序测量 |
探针台 | 第三方兼容探针台 | 晶圆级半导体参数测试 |
PCT 参数波形记录仪 | 2600-PCT 系列 | 功率器件全参数自动化测试 |
可选附件
附件型号 | 描述 | 用途 |
7009-5 | 电缆套件，1.5 m | 矩阵卡与被测件互连 |
CA-180-3A | 三同轴电缆，1 m | 低漏电流信号互连 |
CA-180-3B | 三同轴电缆，2 m | 低漏电流信号互连（加长） |
KXCI | 外部控制接口软件 | 与 4200A-SCS 深度集成 |
KTEI | 测试环境接口软件 | 与 4200A-SCS 系统集成框架 |
产品型号
Keithley 707B 为单一主机型号，用户通过选配最多六张矩阵/开关卡实现所需的测试通道规模与信号类型覆盖。下表列出主机型号及与 708B 的主要区别。
主机型号
型号 | 描述 | 主要特点 |
707B | 六槽半导体开关矩阵主机 | 6 槽，最大 576 路（7072满配），LXI/GPIB/USB，TSP 内置处理器，TSP-Link 级联 |
与 708B 的区别
对比项 | 707B | 708B |
主机插槽数 | 6 槽 | 1 槽 |
最大矩阵卡数 | 6 张 | 1 张 |
最大通道数（7072卡） | 576 路 | 96 路 |
系统级联最大通道数 | 2880 路（多主机） | 576 路（多主机） |
适用场景 | 大规模多通道、多类型器件测试 | 单一通道组精密测试 |
尺寸（机架占用） | 4U | 2U |
价格定位 | 旗舰型 | 经济型 |
选型建议
应用需求 | 推荐型号 | 理由 |
单一器件类型、通道需求≤96路 | 708B | 成本低，占地小 |
多器件类型或通道需求 97～576路 | 707B | 六槽满足扩展需求 |
晶圆分类或超大规模测试（>576路） | 707B 多主机级联 | TSP-Link 支持最大 2880 路 |
需要混装标准+高压卡 | 707B | 多槽支持不同卡型号混装 |
关键词：
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