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RODUCTS
奕叶探针台
型号：奕叶（Everbeing）AI芯片PCB双面点针探针台
测试站应用领域：AI PCB测试，智能汽车雷达芯片阵列测试，低轨卫星LEO芯片测试。
参数 探针台占地面积 600 mm 宽 x 1300 mm 深
探针台高度 300 mm 含显微镜
探针台重量 600 kg
探针台防震桌稳定度 杂散 1 µm
针座X轴行程 600 mm / ± 300 mm
针座y轴行程 450 mm / ± 225 mm
X导轨数量 2
X导轨数量 2
样品夹具尺寸 600 mm W x 450 mm D
针座容量 最多8个
针座安装类型 螺钉螺栓
针座行程范围 25 mm线性X-Y-Z轴全向
针座旋转范围 ±5˚
针座精度 1µm 线性, 0.01˚ 旋转
电气连接 (直流) 三轴式（可选香蕉型）
电气连接 (射频) SMA / 3.5 mm / 2.92 mm
电气连接 (毫米波) 波导或1.0 mm 同轴
毫米波扩展支持 R&S, VDI, Keysight, OML, Anritsu
显微镜龙门架X轴行程 600 mm
显微镜龙门架Y轴行程 450 mm
显微镜载物台 高精度线性载物台
显微镜载物台行程 50 mm X-Y轴线性
显微镜载物台精度 1um
显微镜变焦范围 1.4x - 9.0x
显微镜目镜 20x
显微镜放大倍数范围 28x - 180x
四点探针台 使用四点探针台,机台的手臂可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.在制程改进方面只要将V/I这个数值彼此的位置互相比较或跟上一次V/I比较为参考,不需要再乘上一些其它系数做太复杂的演算.可以选购奕叶的软件使操作简单化及自动化,适用于半导体、太阳能、OLED、微机电、燃料电池等各式产业。一、规格l 探针间距：40mil，62.5 mill 探针压力：80gl 探针材质：BeCu Tungsten Carbidel 高温选配：High Temp. 200 ℃ l 卡盘尺寸可选择：6英寸、8英寸、12英寸；l 材料：特氟龙l 探针升降长度：10毫米l 探针台Z轴升降精度为：1微米l 探针材质：碳化钨、铍铜合金l 探针距离：40mil、50mil、62.5mill 弹簧探针力度：45grams、85grams、180gramsl 探针直径：40.6微米 l 尺寸：220mm长x420mm宽x250mm高l 重量：20Kg二、特点 l 可垂直上下移动l 特殊恒定负载的弹簧探针l 恒定的探针间距l 可保持极大程度的重复性测试l 探头方便更换l 探针台顶部可调整Z轴移动l 稳固的连接线在探针台后面l 转接头可选择：Banana/ BNC/ Triaxial Femalel 卡盘可快速移动l 可以配合加热吸盘使用l 卡盘尺寸可以选择：6英寸、8英寸、12英寸l 气动的SR-4可用开关控制升降三、应用l 薄膜偏电阻 Sheet Resistivityl 体积偏电阻 Volume Resistivityl 导电率Doping Qualityl 金属膜厚Metalization Thicknessl P/N极性P/N Typingl 电流电压I-V特性 V/I Measurement四、其他高级应用l 高阻低电流l 温度环境下量测RT~200℃l 超高温RT~1200 ℃l 无氧环境下l 微小间距最小10 micronl 大面积尺寸基板1200mm×900mml 仪器结合软件l 自动移动测量
四点探针台 使用四点探针台,机台的手臂可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.在制程改进方面只要将V/I这个数值彼此的位置互相比较或跟上一次V/I比较为参考,不需要再乘上一些其它系数做太复杂的演算.可以选购奕叶的软件使操作简单化及自动化,适用于半导体、太阳能、OLED、微机电、燃料电池等各式产业。一、规格l 探针间距：40mil，62.5 mill 探针压力：80gl 探针材质：BeCu Tungsten Carbidel 高温选配：High Temp. 200 ℃ l 卡盘尺寸可选择：6英寸、8英寸、12英寸；l 材料：特氟龙l 探针升降长度：10毫米l 探针台Z轴升降精度为：1微米l 探针材质：碳化钨、铍铜合金l 探针距离：40mil、50mil、62.5mill 弹簧探针力度：45grams、85grams、180gramsl 探针直径：40.6微米 l 尺寸：220mm长x420mm宽x250mm高l 重量：20Kg二、特点 l 可垂直上下移动l 特殊恒定负载的弹簧探针l 恒定的探针间距l 可保持极大程度的重复性测试l 探头方便更换l 探针台顶部可调整Z轴移动l 稳固的连接线在探针台后面l 转接头可选择：Banana/ BNC/ Triaxial Femalel 卡盘可快速移动l 可以配合加热吸盘使用l 卡盘尺寸可以选择：6英寸、8英寸、12英寸l 气动的SR-4可用开关控制升降三、应用l 薄膜偏电阻 Sheet Resistivityl 体积偏电阻 Volume Resistivityl 导电率Doping Qualityl 金属膜厚Metalization Thicknessl P/N极性P/N Typingl 电流电压I-V特性 V/I Measurement四、其他高级应用l 高阻低电流l 温度环境下量测RT~200℃l 超高温RT~1200 ℃l 无氧环境下l 微小间距最小10 micronl 大面积尺寸基板1200mm×900mml 仪器结合软件l 自动移动测量
特点：
气压式防震桌，需配低噪声空气压缩机
坚固的金属框架结构
通过流动气压悬浮装置自动调节四角的稳定和平衡
不锈钢桌面，防止眩光
框架结构为黑色
前后都有防护围挡防止手直接触碰浮动平台
可选择的净负荷有200kg、400kg和800kg
桌子的四个角都配有水平支脚
可根据顾客要求定制
VFT-4836规格说明：
尺寸：48”宽X36”长（120cm宽X90cm长） 承重：200kg
防震效果：
最小承重 @ 20 psi 最大承重 @ 80 psi
垂直本征频率 1.9Hz 垂直本征频率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
水平本振频率 2.2Hz 水平本振频率 1.2Hz
防震效率@ 5Hz 64% 防震效率@ 5Hz 91%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
VFT系列防震桌，包括上面介绍的VFT-4836，以及宽度为30”、36”、60”、72”等不同规格的产品，是专门为探针台量身定做，防震效果远超一般光学显微镜用防震桌。例如实验室位于楼上，楼体震动较大情况，配备VFT系列防震桌，可以达到这样的防震性能：当配置100倍物镜，同时Zoom扭至2x时，将图像通过CCD在17英寸显示器上显示，这时换算倍率可达4000倍（含显示器面积放大），此时，探针台放置在工作中的防震桌上后，无抖动！假如这时探针（软针）点在FIB制作的mini pad上，经过1个小时后，探针无移位。
真空系统：腔体、真空泵组、阀门、压力计、排气过滤和电气馈通。
温控系统：低温/高温卡盘、PID 温控、液氮/液氦或其他冷却模块及温度传感器。
点针与稳定：外置微定位器、桥式显微镜、探针、VFT 防震桌和屏蔽附件。
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