产品信息
产品简介
SMM3000X 系列是鼎阳科技（Siglent）推出的精密源/测量单元（SMU）仪器，集电流源、电压源、电压表、电流表、电阻测量五大功能于一体，各功能可任意切换。该系列采用 6½ 位高分辨率设计，电流最小分辨率达 10 fA，电压最小分辨率达 100 nV，最大采样率 100,000 点/秒，特别适合半导体特性分析、纳米级器件与材料、有机半导体、功率器件测试等高精度测量场景。
SMM3000X 系列提供 SMM3311X（单通道）和 SMM3312X（双通道）两种型号，单通道最大输出 ±210 V / ±3.03 A（直流）、±10.5 A（脉冲），具备四象限精密电源能力。仪器内置 5 英寸 TFT 彩色触摸屏，支持图形视图、滚动视图和测量结果视图等多种显示模式，并可通过 USB、LAN、GPIB（选配）及 Web Server 进行远程控制和编程。
产品优势
高精度源测量一体化设计
SMM3000X 将精密电压源、电流源、数字万用表集成于一体，四象限输出可同时实现源和测量功能。6½ 位（2,100,000 count）显示分辨率确保测量结果的高可信度，电压设置/回读精度均为 0.015% + 225 μV，电流精度 0.1% + 100 pA，满足半导体器件精密表征的严格要求。10 fA 电流分辨率和 100 nV 电压分辨率为纳米级器件和低功耗材料的测试提供了极致的灵敏度。
灵活的多模式输出能力
SMM3000X 支持直流模式、脉冲模式、线性扫描、对数扫描和列表模式五种输出方式。脉冲模式下最小可编程脉冲宽度为 50 μs，脉冲电流最大可达 ±10.5 A，适用于 GaN、SiC 等功率半导体器件的瞬态工作条件仿真和开关损耗特性测试。线性扫描和对数扫描模式可自动完成 I-V 曲线的逐点输出与测量记录，列表模式支持用户自定义输出序列，最小触发间隔 10 μs，满足复杂测试场景需求。
高速采样与数据分析
仪器具备最大 100 ksps 的高速采样率，采样间隔可编程至 0.0005 PLC，内部存储空间可容纳 100,000 个带时间戳的数据点。图形视图支持实时曲线绘制和数学运算结果的可视化分析，滚动视图可显示时域波形变化，测量结果视图提供轨迹数据的统计摘要，为用户提供全方位的数据分析体验。
丰富的接口与远程控制
SMM3000X 标配 USB 和 LAN 接口，支持 SCPI 标准命令集和 Socket 通信（TCP/IP），可通过 USB-GPIB 适配器（选配）扩展 GPIB 接口。内置 Web Server 允许用户通过浏览器直接进行仪器配置和操作，无需额外安装软件。多种通信方式使仪器可无缝集成到自动化测试系统（ATE）中，大幅提升测试效率和灵活性。
宽泛的应用领域
SMM3000X 广泛应用于半导体器件特性分析（二极管、晶体管 I-V 曲线表征）、纳米级材料和器件测试、有机半导体研究、功率半导体（GaN/SiC）研发与测试、不规则瞬态测试、多段应力剖面分析等领域。双通道型号 SMM3312X 可同时对两个被测器件进行独立测试，特别适合差分测量、器件匹配分析和批量测试场景。
产品参数
基本规格
参数 | 指标 | 备注 |
显示位数 | 6½ 位（2,100,000 count） |
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最大采样率 | 100,000 点/秒（100 ksps） |
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采样间隔 | 最小 0.0005 PLC | 可编程 |
最大设置 | 100 PLC |
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最小触发间隔 | 10 μs |
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内部存储 | 最大 100k 点，支持时间戳 |
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工作象限 | 四象限 | 源/测量双向 |
显示屏 | 5 英寸 TFT 彩色触摸屏 | 电容式 |
分辨率
参数 | 指标 | 备注 |
电流最小分辨率 | 10 fA |
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电压最小分辨率 | 100 nV |
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电压输出规格
参数 | 指标 | 备注 |
直流电压范围 | ±210 V |
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电压设置精度 | 0.015% + 225 μV |
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电压回读精度 | 0.015% + 225 μV |
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电流输出规格
参数 | 指标 | 备注 |
直流电流范围 | ±3.03 A |
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脉冲电流最大值 | ±10.5 A | 50 μs 脉冲 |
电流设置精度 | 0.1% + 100 pA |
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电流回读精度 | 0.1% + 100 pA |
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脉冲功能
参数 | 指标 | 备注 |
最小可编程脉冲宽度 | 50 μs |
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脉冲电流最大值 | ±10.5 A |
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典型应用 | GaN/SiC 功率器件瞬态测试 |
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输出模式
参数 | 指标 | 备注 |
直流模式（DC） | 直流电压/电流输出与测量 | 基本模式 |
脉冲模式（Pulse） | 最小脉冲宽度 50 μs | 最大 ±10.5 A |
线性扫描（Linear Sweep） | 固定步进逐点输出并测量 | I-V 曲线表征 |
对数扫描（Log Sweep） | 对数步进扫描 | 半导体器件快速表征 |
列表模式（List） | 用户自定义输出序列 | 最小间隔 10 μs |
接口与远程控制
参数 | 指标 | 备注 |
USB | 标准 USB 远程控制 |
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LAN | 局域网远程控制 | Socket TCP/IP |
GPIB | 通过 USB-GPIB 适配器支持 | 选配 |
Web Server | 嵌入式网页服务器 | 浏览器直接控制 |
编程协议 | SCPI 命令集 |
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产品型号
型号 | 主要规格 | 说明 |
SMM3311X | 单通道，±210 V / ±3.03 A（DC），±10.5 A（脉冲），31.8 W | 基础单通道 SMU |
SMM3312X | 双通道，±210 V / ±3.03 A（DC），±10.5 A（脉冲），31.8 W | 双通道独立测试 |
注：SMM3000X 系列采用 6½ 位高分辨率设计，10 fA 电流分辨率、100 nV 电压分辨率，四象限精密电源。单通道最大输出 ±210 V / ±3.03 A（DC）、±10.5 A（脉冲），支持 50 μs 脉冲、线性/对数/列表扫描模式。内置 5 英寸 TFT 彩色触摸屏，标配 USB/LAN，选配 GPIB，支持 SCPI 命令集和 Web Server 远程控制。
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