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EB系列高性价比探针台
产品定位 | 代表型号 | 样品/环境范围 | 主要测试 |
主流通用手动探针台 | EB-4 / EB-6 / EB-8 / EB-12 | 4、6、8、12英寸平台 | DC、低电流、光电与RF扩展 |
产品简介
奕叶 EB 系列是其主流通用手动探针平台，面向半导体、光电、MEMS 和材料器件研发。卡盘 X/Y 采用同轴旋钮，可单手完成快速移动与精细定位；显微镜、探针座平台和真空吸附卡盘组成完整的人工点针工作站。
与经济型平台相比，EB 系列在样品移动、显微观察、探针数量和功能扩展方面更完整，可从常规 I-V/C-V 延伸至低电流、高压、温控、光电或射频测试，适合作为实验室长期使用的通用平台。
产品优势
- 单手X/Y操控：同轴旋钮便于快速寻找目标，并在下针前完成稳定的精细定位。
- 显微观察完整：显微镜 X/Y 约 2″ × 2″，兼顾粗调、细调和较长 Z 向调焦行程。
- 多尺寸真空卡盘：覆盖 4、6、8、12 英寸，支持小裸片至晶圆样品。
- 模块化扩展：可组合 DC/RF 探针座、探针卡、温控卡盘、屏蔽和防震系统。
典型应用
应用领域 | 典型对象/任务 | 使用价值 |
半导体研发 | 晶圆、裸片、晶体管、传感器 I-V/C-V | 通用平台、配置扩展空间大 |
光电器件 | 激光器、探测器、LED、光子芯片 | 显微镜与多探针协同定位 |
MEMS与材料 | 微结构、薄膜、有机/二维材料器件 | 可扩展低电流、温度及环境附件 |
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EB系列高性价比探针台：参数与配置
产品参数
参数 | 指标/配置 | 说明 |
系列型号 | EB-4 / EB-6 / EB-8 / EB-12 | 按样品和晶圆尺寸选型 |
显微镜X-Y | 约 2″ × 2″；官方页列精度 1 μm | 显微镜型号会影响实际指标 |
显微镜Z向 | 约 50.8 mm；粗/细调 | 官方页列移动精度 10 μm |
卡盘 | 真空吸附；4、6、8、12英寸可选 | 中心孔径可定制 |
卡盘旋转 | 0～360°；典型微调 0.1° | 带角度锁定 |
卡盘X-Y | 与机型尺寸相匹配；典型精调 10 μm | 支持锁定 |
卡盘升降 | 约 4 mm 快速线性升降 | 便于换点与更换样品 |
样品范围 | 约 5 × 5 mm 至对应尺寸晶圆 | 小样品吸附孔需按尺寸配置 |
仪器配置
- 基础系统：EB 台体、真空卡盘、显微镜、探针座、探针杆和探针。
- 电学扩展：低电流/电容、高压、大电流、有源探针、RF 探针与相应线缆。
- 平台扩展：探针卡、温控卡盘、CCD/数字相机、激光模块、VFT 防震桌和屏蔽箱。
产品型号
型号/方案 | 主要规格或区别 | 适用方向 |
EB-4 | 4英寸级 | 裸片、小晶圆和紧凑研发平台 |
EB-6 | 6英寸级 | 通用研发，代表性主流配置 |
EB-8 | 8英寸级 | 更大晶圆、多探针与光电测试 |
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