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BD系列豪华探针台
产品定位 | 代表型号 | 样品/环境范围 | 主要测试 |
高配置手动探针台 | BD-4 / BD-6 / BD-8 / BD-12 | 最高可配12英寸真空卡盘 | DC、RF、探针卡与Die Stepping |
产品简介
奕叶 BD 系列是面向高要求研发和工程验证的豪华型手动探针平台。其重点是更高稳定性的台体、较大的 X/Y 操作旋钮、可升降探针座平台以及探针卡兼容能力，便于完成多探针、多焊盘和 Die-to-Die 的重复点测。
BD 系列兼顾直流与射频应用，并可配置显微镜 X/Y 平台、侧驱式卡盘、探针卡夹具、温控及屏蔽防震附件。对于需要频繁换点、较多探针座或较大样品的实验室，BD 系列具有更好的操作余量。
产品优势
- 平台升降：针座平台支持快速与精细上下调节，适合探针卡和重复下针流程。
- 大旋钮卡盘：侧驱式 X/Y 结构改善握持和操作效率，兼顾快速移动与精细定位。
- 探针卡兼容：可扩展探针卡夹具，支持器件 Die Stepping 和多焊盘测试。
- 高端扩展：可配置多探针座、RF、温控、屏蔽、防震以及高倍率显微系统。
典型应用
应用领域 | 典型对象/任务 | 使用价值 |
IC设计与验证 | 多焊盘芯片、裸片和晶圆工程样品 | 探针卡与多探针配置 |
光电/MEMS | 微小电极、波导、传感器及复杂器件 | 高倍率观察和稳定定位 |
射频器件 | 功放、滤波器、射频前端和材料结构 | 按频段配置RF探针与校准系统 |
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BD系列豪华探针台：参数与配置
产品参数
参数 | 指标/配置 | 说明 |
系列型号 | BD-4 / BD-6 / BD-8 / BD-12 | 按平台尺寸与扩展需求选型 |
卡盘 | 真空吸附，最高可配12英寸 | 具体材质和孔位按样品确认 |
卡盘移动 | 侧驱式螺杆X-Y平台 | 大旋钮设计提升操作性 |
快速/精细移动 | 约 25 mm/转；典型精细重复 10 μm | 以最终配置验收指标为准 |
针座平台 | 支持快速及精细升降 | 官网描述可达约1 μm重复性配置 |
显微镜 | X-Y平台；可配置高倍金相系统 | 物镜、倍率和工作距离可选 |
探针卡 | 支持 | 适合Die Stepping和多点接触 |
测试类型 | DC与RF | 频率上限由整套射频链路决定 |
仪器配置
- 基础系统：BD 台体、真空卡盘、显微镜平台、探针座平台与探针组件。
- 高阶配置：探针卡夹具、多探针座、RF 探针、低电流/高压模块及温控卡盘。
- 环境与观察：屏蔽箱、VFT 防震桌、高倍率显微镜、数字相机和光电附件。
产品型号
型号/方案 | 主要规格或区别 | 适用方向 |
BD-4 / BD-6 | 中小尺寸高配平台 | 精密研发、探针卡和多探针应用 |
BD-8 | 8英寸代表型号 | 较大晶圆、光电/MEMS及复杂验证 |
BD-12 | 12英寸级 | 大尺寸平台与探针卡应用 |
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