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EB系列射频探针台
产品定位 | 代表型号 | 样品/环境范围 | 主要测试 |
RF / mmWave / THz探针平台 | EB系列；代表EB-6V mmW / EB-6A mmW | 按频段、倍频器和卡盘定制 | S参数、射频、毫米波及太赫兹 |
产品简介
奕叶 EB 系列射频探针台面向射频、毫米波和太赫兹器件的在片测试。系统以稳定台体、射频探针座、真空卡盘、显微镜及校准链路为基础，可与矢量网络分析仪、频率扩展模块和不同品牌高频探针组合。
在毫米波/太赫兹配置中，平台可让探针导波管与倍频器导波管直接对接，减少额外导波段带来的损耗。代表性 EB-6V/EB-6A mmW 平台可承载大型倍频器，并为散热、线缆应力和微米级下针稳定性预留空间。
产品优势
- 频段扩展：在匹配探针、倍频器、VNA和校准方案时，官方产品线覆盖至1 THz应用。
- 直接导波连接：减少额外波导连接段，有助于控制毫米波/太赫兹链路损耗。
- 倍频器兼容：EB-6V 可面向多品牌扩展模块；EB-6A 用于特定 Anritsu 配置。
- 系统化稳定设计：综合考虑防震、探针座重心、倍频器承载、散热和线缆拖拽。
典型应用
应用领域 | 典型对象/任务 | 使用价值 |
5G/6G芯片 | 功放、LNA、开关、滤波器及前端模组 | 在片S参数和频率响应 |
车载雷达 | 77/79 GHz雷达芯片、天线与阵列 | 毫米波校准与重复点测 |
卫星与THz | Ku/Ka/E-band、Sub-THz及太赫兹器件 | 按倍频器和探针定制平台 |
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EB系列射频探针台：参数与配置
产品参数
参数 | 指标/配置 | 说明 |
代表平台 | EB-6V mmW / EB-6A mmW | 具体型号按倍频器品牌与安装方式 |
最高频率 | 官方产品线最高覆盖 1 THz | 并非所有配置均达到该上限 |
样品台 | 同轴X-Y平台、真空卡盘 | 可带RF辅助观察结构 |
卡盘尺寸 | 最高可扩展至12英寸 | 以频段、样品和探针布局为准 |
显微系统 | 显微镜X-Y平台 | 需兼顾探针、倍频器和工作距离 |
倍频器支持 | 可安装VDI、OML、R&S、Keysight等模块 | EB-6A针对Anritsu配置 |
关键配套 | VNA、倍频器、RF探针、校准片、线缆 | 整套系统共同决定动态范围与重复性 |
环境要求 | 建议配置主动/气浮防震与良好接地 | 高频越高，对振动和接触越敏感 |
仪器配置
- 基础系统：射频探针台、真空卡盘、显微镜、RF/mmW 探针座和高频探针。
- 测试链路：VNA、频率扩展模块、校准片、同轴/导波器件、线缆与校准软件。
- 稳定与安全：VFT 防震桌、接地/屏蔽、倍频器散热、线缆应力释放和ESD控制。
产品型号
型号/方案 | 主要规格或区别 | 适用方向 |
EB射频常规配置 | 同轴RF频段 | 按探针和VNA频率选配 |
EB-6V mmW | 多品牌毫米波/THz倍频器 | 通用型倍频器承载平台 |
EB-6A mmW | Anritsu毫米波模块 | 针对Anritsu机械接口配置 |
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