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高低温环境探针台
产品定位 | 代表型号 | 样品/环境范围 | 主要测试 |
温度特性测试平台 | Chamber Plus / 高低温卡盘定制平台 | 典型约 -40 ℃～400 ℃ | 温度下DC、I-V/C-V及RF扩展 |
产品简介
奕叶高低温环境探针台用于在受控温度条件下对晶圆、芯片和材料器件进行电学特性测试。系统通常由通用探针平台、升降温卡盘、温控器、显微镜、探针座和氮气吹扫组件构成，可在改变温度的同时保持下针和电信号连接。
与真空低温平台相比，该类系统更适合常规宽温器件验证、可靠性筛查和温度系数测量。官网介绍的典型控制范围约从 -40 ℃延伸至 400 ℃，具体上下限取决于热卡盘、冷却方式、腔体和探针配置。
产品优势
- 宽温表征：可在低温、室温和高温点获取 I-V、C-V、漏电和器件漂移数据。
- 氮气吹扫：低温测试时用于降低环境水分，减少结露、结霜对样品和探针的影响。
- DC/RF兼容：在满足温控结构和探针工作温度的条件下，可扩展直流或射频测试。
- 模块化配置：卡盘尺寸、温度范围、探针数量、屏蔽和防震可按应用组合。
典型应用
应用领域 | 典型对象/任务 | 使用价值 |
功率半导体 | MOSFET、IGBT、二极管漏电与导通特性 | 获得温度相关曲线 |
传感器与材料 | 温漂、灵敏度、薄膜和新材料器件 | 建立温度模型 |
汽车/航天电子 | 宽温功能验证与失效排查 | 模拟不同工作环境 |
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高低温环境探针台：参数与配置
产品参数
参数 | 指标/配置 | 说明 |
平台形式 | 开放式/带环境罩的温控探针平台 | 按应用定制 |
典型温度范围 | 约 -40 ℃～400 ℃ | 取决于热卡盘和冷却模块 |
常规高温段 | 约 5 ℃～400 ℃ | 不同卡盘型号范围不同 |
低温控制 | 冷却模块配合PID加热控制 | 具体冷媒和系统按方案确定 |
防结露 | 氮气吹扫 | 低温测试应控制露点 |
测试类型 | DC；按系统可扩展RF | 探针、线缆和卡盘需满足温度要求 |
样品固定 | 真空吸附或专用夹具 | 高低温循环需考虑热胀冷缩 |
可选环境 | 屏蔽箱、黑箱、防震桌 | 按低电流、光电或RF需求配置 |
仪器配置
- 基础系统：探针台、升降温卡盘、温控器、显微镜、探针座与温度适用探针。
- 低温附件：冷却单元、氮气吹扫、保温/环境罩和露点管理组件。
- 测量附件：SMU/LCR/VNA、屏蔽箱、VFT 防震桌、温度传感器和数据记录软件。
产品型号
型号/方案 | 主要规格或区别 | 适用方向 |
常规热卡盘平台 | 室温至约200/300/400 ℃ | 高温I-V/C-V与可靠性测试 |
宽温Chamber Plus | 低至约-40 ℃、高至约400 ℃ | 宽温器件和材料表征 |
特殊环境方案 | 更低/更高温或真空 | 转入CG-196等定制环境平台 |
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