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CG-196系列真空环境探针台
产品定位 | 代表型号 | 样品/环境范围 | 主要测试 |
真空/低温/高温定制探针台 | CG-196系列 | 真空10⁻³～10⁻⁶ Torr；温区按系统定制 | 真空环境下DC、低漏电与RF扩展 |
产品简介
奕叶 CG-196 系列用于在真空、低温、高温或受控气氛中完成器件电学测试。探针座布置在腔体外侧，操作者可在不破坏真空和温度环境的情况下重新定位探针，以补偿样品因热胀冷缩产生的位置变化。
系统可组合真空腔体、液氮/液氦或其他温控模块、桥式显微镜、外置微定位器、真空馈通和防震系统。CG-196 属于高度定制平台，温度、压力、探针数量、卡盘和电学底噪应按具体样品和测试目标定义。
产品优势
- 外置微定位：温度变化导致样品位移时，可从腔体外重新调整探针而无需破坏环境。
- 宽环境扩展：可组合高真空、低温、高温或正压腔体，覆盖材料和特殊器件研究。
- 桥式显微镜：便于打开腔体，并通过观察窗完成目标定位和下针检查。
- 减振与低漏电：可选气浮防震、屏蔽和低漏电馈通，提高微弱信号测量稳定性。
典型应用
应用领域 | 典型对象/任务 | 使用价值 |
低温器件 | 超导、量子、红外探测器和低温材料 | 减少水汽冻结并保持真空 |
高温材料 | 功率器件、传感器和抗氧化研究 | 降低氧化对样品的影响 |
航天与特殊环境 | 真空、受控气氛和压力条件下器件 | 模拟特定工作环境 |
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CG-196系列真空环境探针台：参数与配置
产品参数
参数 | 指标/配置 | 说明 |
系列型号 | CG-196 | 按腔体、温控和测试链路定制 |
真空范围 | 典型 10⁻³～10⁻⁶ Torr | 取决于真空泵组和腔体配置 |
压力扩展 | 可定制正压，官方介绍最高至10 atm | 须按压力容器与安全要求确认 |
温度范围 | 官方列有4.2 K起的多种温区配置 | 不同系统上限差异很大 |
探针座数量 | 典型2～8组 | 视腔体端口和样品空间 |
典型卡盘 | 约40 mm直径低温卡盘 | 其他尺寸可定制 |
温度分辨率 | 典型0.1 ℃ | 系统稳定度和均匀性另行约定 |
腔体操作 | 外置探针座、真空电气馈通、桥式显微镜 | 便于保持环境并重新下针 |
仪器配置
- 真空系统：腔体、真空泵组、阀门、压力计、排气过滤和电气馈通。
- 温控系统：低温/高温卡盘、PID 温控、液氮/液氦或其他冷却模块及温度传感器。
- 点针与稳定：外置微定位器、桥式显微镜、探针、VFT 防震桌和屏蔽附件。
产品型号
型号/方案 | 主要规格或区别 | 适用方向 |
77 K～480 K等常规低温配置 | 液氮/真空环境 | 材料与器件温度特性 |
4.2 K起特殊低温配置 | 液氦或定制冷源 | 超低温器件研究 |
高温/正压定制配置 | 按腔体、材料和安全设计 | 高温、氧化敏感及特殊压力测试 |
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