关于我们
型号：C-2、C-2-RF
品牌：台湾奕叶(EVERBEING)
特色： 1、C-2奕叶紧凑型探针台，体积小便于移动携带，可兼顾直流和射频测试，可放入手套箱中 2、 内置抗震胶囊及吸盘，独特低重心同轴滑台是机台稳固的条件下而达到轻量以及小型化，高性价比. 3、 吸盘同轴滑台独特XY旋钮一上一下配置，方便XY快速切换，使组件达到快速25mm/转及精细10micron调整的方便性， 4、 除了DC直流应用之外及RF射频也能胜任到67GHz应 用.DCx6 或 RFx4 DCx2
C系列经济型探针台
产品定位 | 代表型号 | 样品/环境范围 | 主要测试 |
常规手动探针台 | C-4 / C-6 / C-8 / C-12 | 4、6、8、12英寸平台 | DC、I-V/C-V；按配置可扩展RF |
产品简介
奕叶 C 系列是一套面向高校、科研单位和一般器件研发的经济型手动探针平台。机台采用低重心同轴滑台、内置抗震结构和真空吸附卡盘，可在较紧凑的实验空间内完成晶圆、裸片、封装开盖芯片及其他小型样品的点针测试。
系列重点在于简化结构、控制采购成本，同时保留显微镜 X-Y 移动、卡盘精密移动以及多种测试附件的扩展能力。根据探针、线缆和测试仪器配置，可用于基础直流、低电流、电容及射频器件表征。
产品优势
- 经济型平台：在满足常规人工点针与样品定位的前提下，降低基础实验室的整机投入。
- 低重心同轴移动：X/Y 旋钮便于快速寻找器件，并进行约 10 μm 级精细调整。
- 样品兼容性：可选择 4、6、8、12 英寸规格，适配晶圆、裸片、封装器件和夹具样品。
- 扩展灵活：可选镀金卡盘、射频探针、低电流附件、加热装置、屏蔽箱及防震桌。
典型应用
应用领域 | 典型对象/任务 | 使用价值 |
高校与科研 | 半导体器件基础 I-V/C-V、材料与工艺验证 | 结构直观、配置灵活 |
器件研发 | 晶圆、裸片、封装开盖芯片电学测试 | 支持多尺寸样品与夹具 |
光电与RF | 光电器件、射频芯片的实验室点测 | 按探针、线缆和仪器配置扩展 |
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C系列经济型探针台：参数与配置
产品参数
参数 | 指标/配置 | 说明 |
系列型号 | C-4 / C-6 / C-8 / C-12 | 数字通常对应平台/晶圆尺寸等级 |
卡盘 | 真空吸附；4、6、8、12英寸可选 | 卡盘材质和孔位可按需求配置 |
典型X-Y行程 | 6英寸机型约 6″ × 6″ | 其他尺寸随型号变化 |
卡盘Z向 | 约 4 mm 快速/精细升降 | 便于换点和更换样品 |
移动方式 | 低重心同轴旋钮、线性无回差调节 | 适合手动精密定位 |
显微镜 | 可配置高倍金相显微镜及X-Y移动 | 倍率与工作距离按应用选择 |
测试能力 | DC；按配置可扩展RF至67 GHz | 上限取决于探针、线缆、VNA及校准 |
仪器配置
- 基础系统：探针台台体、真空卡盘、显微镜、探针座、探针杆与探针。
- 功能选件：镀金/加热卡盘、低电流/电容、高压、有源或射频探针、CCD/数字相机。
- 环境选件：VFT 防震桌、屏蔽箱、探针卡、PCB/封装夹具及暗场/微分干涉观察附件。
产品型号
型号/方案 | 主要规格或区别 | 适用方向 |
C-4 | 4英寸级 | 小尺寸晶圆、裸片和基础教学 |
C-6 | 6英寸级 | 通用研发与常规器件表征 |
C-8 | 8英寸级 | 更大晶圆或样品覆盖 |
C-12 | 12英寸级 | 大尺寸平台，需同步核对空间与防震配置 |
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