频准激光 177‑299nm 系列深紫外窄线宽激光器,依托自研非线性频率变换技术,覆盖177nm‑299nm 深紫外波段,提供多档可选波长:177nm、190nm、205‑220nm、220‑248nm、249‑283.5nm、284‑299nm,可实现单频窄线宽紫外激光输出。
该系列激光器整机一体化集成,具备窄线宽、高光谱纯度、波长可选、光束质量优异、稳定性高等特点。填补国内深紫外单频激光供给缺口,替代进口光源。
典型应用
- 半导体晶圆检测、光谱量测
- 原子分子物理科研实验
- 光电子、真空紫外光谱研究
- 精密光谱分析、离子阱量子实验