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吉时利 Keithley 2600B系列单或双通道源表

半导体生产测试，半导体器件设计，晶体管检定， DDQ测试与待机电流测试，多针装置测试

类别：

产品信息

产品简介

Keithley 2600B 系列系统数字源表（System SourceMeter® SMU）是吉时利推出的第三代 SMU 平台，专为高度自动化生产测试环境设计。该系列利用第三代源测量单元技术，将精密电源、真正电流源、6½ 位数字多用表、任意波形发生器、脉冲发生器及电子负载等多项功能高度集成于单一仪器之中，覆盖从 0.1 fA 到 10 A 电流和 100 nV 到 200 V 电压的最宽动态范围。

2600B 系列包括三个子系列、共九款型号：2600B 子系列（40V/3A，含 2601B/2602B/2604B）提供每通道最高 40.4W 功率和 3A 连续电流；2610B 子系列（200V/1.5A，含 2611B/2612B/2614B）提供最高 200V 电压输出；2630B 子系列（200V/1.5A 超低电流，含 2634B/2635B/2636B）则针对 fA 级超低电流测量进行了专门优化。

作为业界标准电流-电压源和测量解决方案，2600B 系列广泛应用于半导体器件表征、集成电路（IC）测试、分立器件生产测试、LED 光电特性表征、太阳能电池测试、电池模拟与循环测试、纳米材料与器件研究、MEMS 传感器测试等领域。其卓越的 TSP®（测试脚本处理器）技术和 TSP-Link® 扩展能力，使得多通道并行测试和高速自动化生产测试成为可能。

产品优势

系统级自动化架构

2600B 系列集成了业界领先的 TSP®（Test Script Processor）测试脚本处理器技术，能够将完整的测试程序直接嵌入仪器内部运行，从根本上消除了传统 PC 与仪器之间反复通信的总线延迟瓶颈。每个 TSP 脚本都是一个独立的嵌入式测试序列，支持高级数据处理、流控制和分支逻辑，大幅提升生产测试吞吐量。配合 TSP-Link® 技术，最多可将 32 台 SMU（64 个独立通道）以菊花链方式级联，实现通道间 <500 ns 的精密同步触发，构建真正的 SMU-per-pin 并行测试架构。

最宽动态范围与高精度

2600B 系列提供业界最宽的电压-电流动态范围：从 100 nV 到 200 V 电压，从 0.1 fA 到 10 A 电流。2635B/2636B 型号更提供 100 pA 超低电流量程和 0.1 fA 测量分辨率，输入电阻高达 >10¹⁴ Ω，比竞品快 7 倍的稳定时间。全系列 6½ 位精度分辨率确保测量结果的可信度，基本电压测量精度达 0.015%，适用于精密半导体参数分析。

超快脉冲与高速采集

2600B 系列支持 <100 μs 脉冲宽度，0.1% 稳定值，最高 10 A 脉冲电流输出。最大数据采集速率达 20,000 读数/秒（0.001 NPLC 模式下至内存缓冲区），读数缓冲器容量超过 60,000 个样本（含时标和源设置）。脉冲模式支持灵活的占空比和电流极限区域设置，可在不损坏被测器件的前提下完成高功率瞬态特性表征。

灵活的双通道与配置选择

2600B 系列提供单通道和双通道两种配置，双通道型号在同一占地面积内提供两个完全隔离的 SMU 通道，可独立或同步工作。系统级型号（2601B/2602B/2611B/2612B/2635B/2636B）标配 TSP-Link、接触检查（Contact Check）和数字 I/O 接口，满足全自动化产线需求；经济型台式型号（2604B/2614B/2634B）去除上述接口以降低采购成本，适合手动或半自动化测试环境。

丰富的软件生态与编程接口

2600B 系列提供多层次的软件支持：内置基于 Java 的即插即用软件，无需额外安装即可通过浏览器进行 I/V 测试；KickStart 仪器控制软件支持多达 4 台 SMU 的扫描和脉冲测试，实时图表与数据导出；ACS（自动化表征套件）支持从实验室到产线的全自动化测试，内置 Python 编程接口；TSP Toolkit 作为 VS Code 扩展提供语法高亮、自动补全和脚本调试功能。通讯接口涵盖 USB 2.0、LXI-C（以太网）、GPIB 和 RS-232。

产品参数

系列型号对比总览

参数	2601B	2602B	2604B	2611B	2612B	2614B	2635B	2636B	2634B
通道数	1	2	2	1	2	2	1	2	2
最大电压	40V	40V	40V	200V	200V	200V	200V	200V	200V
最大电流（DC）	3A	3A	3A	1.5A	1.5A	1.5A	1.5A	1.5A	1.5A
最大电流（脉冲）	10A	10A	10A	10A	10A	10A	10A	10A	10A
最大功率/通道	40.4W	40.4W	40.4W	30.3W	30.3W	30.3W	30.3W	30.3W	30.3W
最小电流源量程	100 nA	100 nA	100 nA	100 nA	100 nA	100 nA	1 nA	1 nA	1 nA
最小电流测量量程	100 nA	100 nA	100 nA	100 nA	100 nA	100 nA	100 pA	100 pA	100 nA
电流最优分辨率	2 pA	2 pA	2 pA	2 pA	2 pA	2 pA	0.1 fA	0.1 fA	10 fA
电压输入电阻	>10 GΩ	>10 GΩ	>10 GΩ	>10 GΩ	>10 GΩ	>10 GΩ	>10¹⁴ Ω	>10¹⁴ Ω	>10¹⁴ Ω
TSP-Link	✓	✓	✗	✓	✓	✗	✓	✓	✗
接触检查	✓	✓	✗	✓	✓	✗	✓	✓	✗
数字 I/O	✓	✓	✗	✓	✓	✗	✓	✓	✗
重量	4.75 kg	5.50 kg	5.50 kg	4.75 kg	5.50 kg	5.50 kg	4.75 kg	5.50 kg	5.50 kg
定位	系统级	系统级	经济台式	系统级	系统级	经济台式	系统级超低电流	系统级超低电流	经济台式超低电流

2600B 子系列 — 40V / 3A（2601B / 2602B / 2604B）

2600B 子系列提供每通道最高 40.4W 功率和 3A 连续电流，适用于需要中等电压和大电流驱动的半导体器件测试。10A 脉冲模式支持高功率瞬态表征。

电压源技术指标

量程	编程分辨率	精度（1年，23°C±5°C）	典型噪声（峰-峰值）
100 mV	5 μV	0.02% + 250 μV	20 μV
1 V	50 μV	0.02% + 400 μV	50 μV
6 V	50 μV	0.02% + 1.8 mV	100 μV
40 V	500 μV	0.02% + 12 mV	500 μV

温度系数：±(0.15 × 精度指标)/°C（0°–18°C 和 28°–50°C）。最大输出功率：每通道 40.4W（±40.4V @ ±1.0A，±6.06V @ ±3.0A）。

电流源技术指标

量程	编程分辨率	精度（1年，23°C±5°C）	典型噪声（峰-峰值）
100 nA	2 pA	0.06% + 100 pA	5 pA
1 μA	20 pA	0.03% + 800 pA	25 pA
10 μA	200 pA	0.03% + 5 nA	60 pA
100 μA	2 nA	0.03% + 60 nA	3 nA
1 mA	20 nA	0.03% + 300 nA	6 nA
10 mA	200 nA	0.03% + 6 μA	200 nA
100 mA	2 μA	0.03% + 30 μA	600 nA
1 A	20 μA	0.05% + 1.8 mA	70 μA
3 A	20 μA	0.06% + 4 mA	150 μA
10 A（脉冲）	200 μA	0.5% + 40 mA（典型值）	—

电压测量精度

量程	默认显示分辨率	输入电阻	精度（1年，23°C±5°C）
100 mV	100 nV	>10 GΩ	0.015% + 150 μV
1 V	1 μV	>10 GΩ	0.015% + 200 μV
6 V	10 μV	>10 GΩ	0.015% + 1 mV
40 V	10 μV	>10 GΩ	0.015% + 8 mV

电流测量精度

量程	默认显示分辨率	电压负荷	精度（1年，23°C±5°C）
100 nA	100 fA	<1 mV	0.05% + 100 pA
1 μA	1 pA	<1 mV	0.025% + 500 pA
10 μA	10 pA	<1 mV	0.025% + 1.5 nA
100 μA	100 pA	<1 mV	0.02% + 25 nA
1 mA	1 nA	<1 mV	0.02% + 200 nA
10 mA	10 nA	<1 mV	0.02% + 2.5 μA
100 mA	100 nA	<1 mV	0.02% + 20 μA
1 A	1 μA	<1 mV	0.03% + 1.5 mA
3 A	1 μA	<1 mV	0.05% + 3.5 mA
10 A（脉冲）	10 μA	<1 mV	0.4% + 25 mA（典型值）

脉冲操作区域

区域	最大电流极限	最大脉宽	最大占空比
区域 1	1 A @ 40V / 3 A @ 6V	DC，无限制	100%
区域 2	1.5 A @ 40V	100 ms	25%
区域 3	5 A @ 35V	4 ms	4%
区域 4	10 A @ 20V	1.8 ms	1%

最小可编程脉宽：100 μs；脉宽编程分辨率：1 μs；脉宽编程精度：±5 μs；脉宽抖动：2 μs（典型值）。

2610B 子系列 — 200V / 1.5A（2611B / 2612B / 2614B）

2610B 子系列提供最高 200V 电压输出和每通道 30.3W 功率，适用于功率器件、高压元件及需要高电压偏置的半导体测试。10A 脉冲模式支持高功率瞬态表征。

电压源技术指标

量程	编程分辨率	精度（1年，23°C±5°C）	典型噪声（峰-峰值）
200 mV	5 μV	0.02% + 375 μV	20 μV
2 V	50 μV	0.02% + 600 μV	50 μV
20 V	500 μV	0.02% + 5 mV	300 μV
200 V	5 mV	0.02% + 50 mV	2 mV

最大输出功率：每通道 30.3W（±20.2V @ ±1.5A，±202V @ ±100 mA）。

电流源技术指标

量程	编程分辨率	精度（1年，23°C±5°C）	典型噪声（峰-峰值）
100 nA	2 pA	0.06% + 100 pA	5 pA
1 μA	20 pA	0.03% + 800 pA	25 pA
10 μA	200 pA	0.03% + 5 nA	60 pA
100 μA	2 nA	0.03% + 60 nA	3 nA
1 mA	20 nA	0.03% + 300 nA	6 nA
10 mA	200 nA	0.03% + 6 μA	200 nA
100 mA	2 μA	0.03% + 30 μA	600 nA
1 A	20 μA	0.05% + 1.8 mA	70 μA
1.5 A	50 μA	0.06% + 4 mA	150 μA
10 A（脉冲）	200 μA	0.5% + 40 mA（典型值）	—

电压测量精度

量程	默认显示分辨率	输入电阻	精度（1年，23°C±5°C）
200 mV	100 nV	>10 GΩ	0.015% + 225 μV
2 V	1 μV	>10 GΩ	0.02% + 350 μV
20 V	10 μV	>10 GΩ	0.015% + 5 mV
200 V	100 μV	>10 GΩ	0.015% + 50 mV

电流测量精度

量程	默认显示分辨率	电压负荷	精度（1年，23°C±5°C）
100 nA	100 fA	<1 mV	0.06% + 100 pA
1 μA	1 pA	<1 mV	0.025% + 500 pA
10 μA	10 pA	<1 mV	0.025% + 1.5 nA
100 μA	100 pA	<1 mV	0.02% + 25 nA
1 mA	1 nA	<1 mV	0.02% + 200 nA
10 mA	10 nA	<1 mV	0.02% + 2.5 μA
100 mA	100 nA	<1 mV	0.02% + 20 μA
1 A	1 μA	<1 mV	0.03% + 1.5 mA
1.5 A	1 μA	<1 mV	0.05% + 3.5 mA
10 A（脉冲）	10 μA	<1 mV	0.4% + 25 mA（典型值）

脉冲操作区域

区域	最大电流极限	最大脉宽	最大占空比
区域 1	100 mA @ 200V / 1.5A @ 20V	DC，无限制	100%
区域 2	1 A @ 180V	8.5 ms	1%
区域 3	1 A @ 200V	2.2 ms	1%
区域 4	10 A @ 5V	1 ms	2.2%

2630B 子系列 — 200V / 1.5A 超低电流（2634B / 2635B / 2636B）

2630B 子系列针对 fA 级超低电流测量进行了专门优化。2635B/2636B 提供 100 pA 量程和 0.1 fA 测量分辨率，输入电阻高达 >10¹⁴ Ω，比竞品快 7 倍的稳定时间，是纳米器件表征、栅极漏电流测试和超高阻抗材料研究的理想选择。2634B 为经济型台式型号，不包含 100 pA 测量量程。

电压源技术指标

量程	编程分辨率	精度（1年，23°C±5°C）	典型噪声（峰-峰值）
200 mV	5 μV	0.02% + 375 μV	20 μV
2 V	50 μV	0.02% + 600 μV	50 μV
20 V	500 μV	0.02% + 5 mV	300 μV
200 V	5 mV	0.02% + 50 mV	2 mV

最大输出功率：每通道 30.3W。电流极限/柔度最小值：100 pA。

电流源技术指标（超低电流）

量程	编程分辨率	精度（1年，23°C±5°C）	典型噪声（峰-峰值）
1 nA	20 fA	0.15% + 2 pA	800 fA
10 nA	200 fA	0.15% + 5 pA	2 pA
100 nA	2 pA	0.06% + 50 pA	5 pA
1 μA	20 pA	0.03% + 700 pA	25 pA
10 μA	200 pA	0.03% + 5 nA	60 pA
100 μA	2 nA	0.03% + 60 nA	3 nA
1 mA	20 nA	0.03% + 300 nA	6 nA
10 mA	200 nA	0.03% + 6 μA	200 nA
100 mA	2 μA	0.03% + 30 μA	600 nA
1 A	20 μA	0.05% + 1.8 mA	70 μA
1.5 A	50 μA	0.06% + 4 mA	150 μA
10 A（脉冲）	200 μA	0.5% + 40 mA（典型值）	—

电压测量精度

量程	默认显示分辨率	输入电阻	精度（1年，23°C±5°C）
200 mV	100 nV	>10¹⁴ Ω	0.015% + 225 μV
2 V	1 μV	>10¹⁴ Ω	0.02% + 350 μV
20 V	10 μV	>10¹⁴ Ω	0.015% + 5 mV
200 V	100 μV	>10¹⁴ Ω	0.015% + 50 mV

电流测量精度（超低电流）

量程	默认显示分辨率	电压负荷	精度（1年，23°C±5°C）
100 pA*	0.1 fA	<<1 mV	0.15% + 120 fA
1 nA	1 fA	<<1 mV	0.15% + 240 fA
10 nA	10 fA	<1 mV	0.15% + 3 pA
100 nA	100 fA	<1 mV	0.06% + 40 pA
1 μA	1 pA	<1 mV	0.025% + 400 pA
10 μA	10 pA	<1 mV	0.025% + 1.5 nA
100 μA	100 pA	<1 mV	0.02% + 25 nA
1 mA	1 nA	<1 mV	0.02% + 200 nA
10 mA	10 nA	<1 mV	0.02% + 2.5 μA
100 mA	100 nA	<1 mV	0.02% + 20 μA
1 A	1 μA	<1 mV	0.03% + 1.5 mA
1.5 A	1 μA	<1 mV	0.05% + 3.5 mA
10 A（脉冲）	10 μA	<1 mV	0.4% + 25 mA（典型值）

* 100 pA 量程仅适用于 2635B/2636B，不适用于 2634B。

全系列通用技术指标

系统测量速度

A/D 转换器速度	最大扫描操作（至内存）	最大单测量（至 GPIB）
0.001 NPLC	20,000 读数/秒	1,900 读数/秒
0.01 NPLC	5,000 读数/秒	1,450 读数/秒
0.1 NPLC	580 读数/秒	450 读数/秒
1.0 NPLC	59 读数/秒	58 读数/秒

触发与同步技术指标

参数	规格
触发输入到触发输出	0.5 μs（典型值）
触发输入到源改变	10 μs（典型值）
触发定时精度	±2 μs（典型值）
LXI 触发之后源改变	280 μs（典型值）
单节点同步源改变	<0.5 μs（典型值）
多节点同步源改变	<0.5 μs（典型值）
TSP-Link 级联数量	最多 32 台（64 通道）
TSP-Link 最大线缆长度	任意两台间最长 3 米

注：TSP-Link 不适用于 2604B、2614B 和 2634B 经济型型号。

通讯接口

接口类型	规格
GPIB（IEEE-488）	兼容 IEEE-488.1，支持 IEEE-488.2
USB（背面）	USB 2.0 器件，TMC488 协议
RS-232	波特率 300 bps ~ 115200 bps
以太网	RJ-45，LXI Class C，10/100BT
TSP-Link 扩展接口	支持 TSP 仪器相互触发和通信
USB 文件系统（前面板）	USB 2.0 主控制器，海量存储类设备

数字 I/O 接口（系统级型号）

参数	规格
接头	25 针 D 型母接头
输入/输出引脚	14 个开漏极 I/O 脚
最大输入电压	5.25V
最小逻辑高输入电压	2.1V（+570 μA）
最大宿电流 @ 0.7V	-5.0 mA
5V 电源引脚	上限 600 mA，固态熔丝保护
安全互锁	有效高输入 >3.4V @ 24mA

注：数字 I/O 不适用于 2604B、2614B 和 2634B 经济型型号。安全互锁信号 < 0.4V 时，200V 操作被阻塞。

物理与环境规格

参数	规格
尺寸（标准）	89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深
尺寸（台面配置）	104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深
重量（单通道）	4.75 kg（2601B / 2611B / 2635B）
重量（双通道）	5.50 kg（2602B / 2604B / 2612B / 2614B / 2634B / 2636B）
电源	100V～250V AC，50～60Hz（自动检测），最大 240 VA
冷却	强制风冷，侧面进风，背板排风
工作温度	0°–50°C，70% R.H. 最高 35°C
存储温度	-25°C 到 65°C
海拔	最高 2000 米
直流浮动电压	最高 ±250V DC
共模隔离度	>1 GΩ，<450 pF
读数缓冲器（含时标）	>60,000 个样本
读数缓冲器（无时标）	>140,000 个样本
最小可用存储容量	16 MB（约 250,000 行 TSL 代码）
定时器	1 MHz 输入时钟，47 位计数器，1 μs 分辨率，±100 ppm

仪器配置

标准交付配置

每台 2600B 系列 SMU 仪器标准交付包括：主机一台、电源线、USB 线缆（A 型到 B 型）、快速入门指南、产品文档光盘（含完整参考手册和编程指南）。2600B 子系列（2601B/2602B/2604B）配备 Phoenix 螺纹端子连接器；2610B 子系列（2611B/2612B/2614B）配备 Phoenix 螺纹端子连接器；2630B 子系列（2634B/2635B/2636B）配备三轴（Triax）连接器以确保超低电流测量精度。

主要可选配件

配件型号	描述	适用型号
237-ALG-2	低噪声三轴电缆	2634B / 2635B / 2636B
2600-ALG-2	低噪声三轴电缆（带鳄鱼夹）	2634B / 2635B / 2636B
2600-BAN	香蕉插头接口电缆	全系列
2600B-PM-1	1A / 200V 保护模块	2635B / 2636B
2600B-PM-2	1.5A / 200V 保护模块（带端子块连接器）	2635B / 2636B
2600-TRIAX	2600 系列三轴适配器	2634B / 2635B / 2636B
7078-TRX 系列	三槽/三耳三轴电缆（3ft/5ft/10ft/12ft/20ft）	2634B / 2635B / 2636B
8101-PIV	PIV 演示夹具	全系列
4299-1	重型机架安装套件（单单元）	全系列
4299-2	重型机架安装套件（双单元）	全系列
KPCI-488LPA	IEEE-488 GPIB 接口板	全系列
KUSB-488B	USB-GPIB 适配器	全系列

2600B-PM-1 保护模块专为 2635B/2636B 设计，最大 DC 电流 100 mA，钳位防止 <100 μs 瞬态电流尖峰至 1A，有效保护超低电流测量通道免受瞬态过电流损害。

软件生态

软件工具	功能说明	适用型号
内置 Java 即插即用软件	浏览器运行 I/V 测试，无需额外安装	全系列
KickStart 仪器控制软件	扫描/脉冲测试，最多 4 台 SMU，实时图表	全系列
KickStart 电池模拟器 App	电池模型生成、模拟、充放电循环测试	全系列
ACS 自动化表征套件	实验室到产线全自动化，Python 编程接口	全系列
TSP Toolkit（VS Code 扩展）	语法高亮、自动补全、脚本调试	全系列
Test Script Builder (TSB)	免费脚本编写与调试工具	全系列
2400 型软件仿真模式	兼容 legacy 2400 代码，升级迁移路径	全系列

产品型号

选型指南

根据应用场景选择合适的型号：

应用场景	推荐型号	选择理由
高功率、大电流（3A DC）	2601B / 2602B / 2604B	40.4W 最大功率，3A 连续电流，10A 脉冲
高电压（200V）通用测试	2611B / 2612B / 2614B	200V 电压范围，适合功率器件、高压元件
超低电流、超高阻抗（fA/pA 级）	2635B / 2636B	100 pA 量程，0.1 fA 分辨率，>10¹⁴ Ω 输入阻抗
经济型台式，手动/半自动	2604B / 2614B / 2634B	去除 TSP-Link/接触检查/数字 I/O，降低采购成本
单通道精密测量	2601B / 2611B / 2635B	成本优化，单通道专用
双通道并行测试	2602B / 2612B / 2636B	TSP-Link 同步，SMU-per-pin 架构
IDDQ 与待机电流测试	2635B / 2636B	100 pA 量程，0.1 fA 分辨率，快速稳定
多引脚并行器件测试	2602B / 2612B / 2636B	TSP-Link 级联最多 32 台（64 通道），<500 ns 同步
半导体产线自动化	2601B / 2602B / 2611B / 2612B	TSP 脚本内嵌运行，行业最高吞吐量

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