吉时利 Keithley 2606B源表
类别：
产品信息
产品简介
Keithley 2606B 是吉时利（Keithley）系统 SourceMeter 系列中密度最高的 SMU 仪器，在仅 1U 高度的紧凑机箱内集成 4 条独立的 20 W SMU 通道，功能上相当于两台 2602B 型双通道 SMU 的组合。基于吉时利第三代 SMU 技术，2606B 在保持与 2602B 完全相同的测量完整性、同步精度、测试速度和编程兼容性的同时，将机架空间利用率提升至传统 2U 双通道 SMU 的 3 倍，为高密度多通道测试需求提供了前所未有的空间效益。
2606B 每条通道均提供 20 V / 3 A / 20 W 的四象限源-测量能力，基本测量精度达到 0.015%，分辨率达 6½ 位，电流测量分辨率低至 100 fA（0.1 fA 灵敏度）。通过 TSP-Link 菊花链互连技术，最多可将 32 台仪器（64 条独立 SMU 通道）同步为一个协调的多通道测试系统，通道间同步精度 <500 ns，所有通道同时独立受控。
该仪器专为 LED 大批量生产测试、VCSEL 激光二极管测试、多引脚半导体器件并行测试等需要高通道密度和高吞吐量的应用场景设计。100 μs 最小可编程脉冲宽度使其特别适合激光二极管（LIV）测试中需要窄脉冲以避免器件自发热的场合。
产品优势
超高通道密度
2606B 在 1U 高度机箱内集成 4 条独立 SMU 通道，相较传统 2U 双通道 SMU，相同机架空间内可部署的通道数提高 3 倍。多台 2606B 可直接堆叠安装，无需 1U 隔热间距，最大限度地利用标准 19 英寸机架的每一寸空间。
功能等效两台 2602B
2606B 的每条通道在电气性能、测量能力、编程接口和软件兼容性方面与 2602B 完全一致。它继承了 2602B 的全部核心优势：0.015% 基本测量精度、6½ 位分辨率、100 fA 电流测量分辨率以及 20,000 读数/秒的最大测量速度。用户可将其直接视为两台 2602B 的 1U 集成方案。
兼容迁移，无缝升级
2606B 使用与 2602B 完全相同的连接器体系，包括三芯同轴接口、TSP-Link 接口及数字 I/O 接口，确保现有测试夹具和线缆资源可直接复用。TSP 脚本代码在 2602B 与 2606B 之间完全兼容，用户无需修改任何代码即可将测试程序从 2602B 迁移至 2606B，实现零成本升级。
TSP-Link 多通道同步
通过 TSP-Link 菊花链技术，最多可将 32 台 2606B 互连为一个协调的多通道测试系统，实现 64 条独立 SMU 通道的精密同步。所有通道的同步精度 <500 ns，每条通道均可独立设定电压/电流、独立触发并独立回读测量数据。TSP 嵌入式脚本引擎在每个节点上独立运行，实现真正的分布式并行处理。
100 μs 高速脉冲能力
2606B 支持 100 μs 最小可编程脉冲宽度，可在极短时间内向被测器件注入精确的电流或电压脉冲。这一特性对于 VCSEL 和激光二极管测试至关重要——窄脉冲可有效避免器件自发热对测量精度的影响，确保 LIV 曲线在接近真实工作条件下采集。
卓越测量精度
2606B 提供 0.015% 的基本测量精度和真正的 6½ 位测量分辨率，电流测量分辨率低至 100 fA（灵敏度 0.1 fA），电压测量分辨率达 100 nV。动态范围覆盖 100 fA 至 3 A 和 100 nV 至 20 V，确保从超低漏电流到中等功率驱动的全范围精密表征。
产品参数
核心规格
规格项目 | Keithley 2606B 参数 |
通道数 | 4 条独立 SMU 通道（1U 机箱） |
最大电压 | 20 V 每通道 |
最大电流 | 3 A（DC）每通道 |
最大功率 | 20 W 每通道 |
基本测量精度 | 0.015% |
测量分辨率 | 6½ 位 |
电流测量分辨率 | 100 fA（0.1 fA 灵敏度） |
电压测量分辨率 | 100 nV |
低电流量程 | 100 nA，2 pA 灵敏度 |
动态范围 | 100 fA ~ 3 A / 100 nV ~ 20 V |
系统速度
参数项 | 规格 |
最大测量速度 | 20,000 读数/秒（至缓冲区） |
最小可编程脉宽 | 100 μs |
源-测量扫描速率 | 与 2602B 相同，支持自定义扫描列表 |
TSP-Link 多通道扩展
参数项 | 规格 |
菊花链扩展 | 最多 32 节点 / 64 独立 SMU 通道 |
通道同步精度 | <500 ns，所有通道同时独立控制 |
分布式处理 | 每节点独立运行 TSP 嵌入式脚本 |
触发协调 | 硬件触发总线，支持多仪器同步触发 |
接口
接口类型 | 规格 |
模拟 I/O | 8 针 Phoenix 连接器 |
数字 I/O | 25 针连接器 |
TSP-Link | 与 2602B 相同的 TSP-Link 接口 |
以太网 | CAT5 交叉电缆，支持 LXI |
物理规格
参数项 | 规格 |
外形 | 1U 高度机箱 |
密度提升 | 相比传统 2U SMU，相同空间通道数提高 3 倍 |
堆叠安装 | 无需 1U 隔热间距，可直接堆叠 |
机架兼容 | 标准 19 英寸机架安装 |
仪器配置
标准交付
每台 Keithley 2606B 高密度系统 SMU 标准交付包含以下组件：
● 2606B 型主机（1U 机箱，4 条 SMU 通道）
● 电源线（符合销售地区标准）
● 安全注意事项及快速入门指南
● 产品文档与软件光盘
● CAT5 交叉电缆（以太网连接）
主要可选配件
配件型号 | 描述 |
2600-BAN | 香蕉测试导线，适用于通用两线/四线连接 |
2600-FIX-TRX | 三芯同轴电缆，低噪声三轴测试连接 |
2600-KIT | 螺丝端子套件，方便自定义接线 |
2600-TLINK | 触发 I/O 电缆，TSP-Link 互连 |
2600 三芯同轴适配器 | 三芯同轴接口转换适配器 |
7078-TRX 系列 | 三芯同轴电缆，多种长度可选（3/5/10/12/20 ft） |
7078-TRX-GND | BNC 适配器，三芯同轴转 BNC 接地 |
7079-308A | 数字 I/O 连接器，25 针 |
174710700 | CAT5 交叉电缆，以太网直连 |
8606 | 模块化探头套件，高精度探针测试 |
CA-126-1A | 数字 I/O 电缆，1 米长度 |
软件生态
KickStart 仪器控制软件
KickStart 是吉时利提供的无编程仪器控制平台，支持快速执行单次或扫描测试，以图形和表格格式实时显示测量结果。用户无需编写任何代码即可完成 I-V 特性采集、数据分析和报告生成，适合研发调试和快速验证场景。
ACS 自动化检定套件
ACS（Automated Characterization Suite）是面向半导体器件全流程测试的 Python 编程平台，支持从单次手动测试到复杂晶圆级多站点测试系统的灵活构建。内置数据管理与统计分析功能，兼容手动或自动晶圆探针台控制，满足从研发到量产的全场景自动化需求。
TSP 开发工具
TSP Toolkit
TSP Toolkit 提供完整的 TSP 脚本开发、调试和管理环境。用户可在 PC 端编写和调试 TSP 脚本，然后部署到 2606B 的嵌入式处理器上独立运行，实现无需 PC 的高速分布式测试。
TSB 测试脚本构建器
TSB（Test Script Builder）是图形化的 TSP 脚本创建工具，通过拖拽式操作帮助用户快速构建测试序列，降低脚本编程门槛。
TSP Express
TSP Express 是轻量级的仪器交互工具，支持直接向 2606B 发送 TSP 指令、查看实时响应，适合日常调试和快速功能验证。
2400 仿真模式
2606B 提供 2400 系列 SCPI 指令仿真模式，可直接兼容基于 Keithley 2400 开发的现有测试程序，大幅降低从 2400 系列向 2600B 系列迁移的软件改造成本。
典型应用
LED 大批量生产测试
2606B 的 4 通道并行架构特别适合 LED 晶圆级或封装级的大批量生产测试。每条通道可独立驱动和测量一个 LED 器件，4 通道同时工作实现 4 倍测试吞吐量。结合 20,000 读数/秒的高速采集能力和 TSP-Link 多机同步，可在单台分选机内构建高达 64 通道的并行测试系统。
VCSEL 激光二极管测试
2606B 的 3 A 电流驱动能力配合 100 μs 最小脉冲宽度，使其成为 VCSEL 和边发射激光二极管 LIV 特性测试的理想平台。窄脉冲电流注入可有效避免器件自发热，确保在接近真实工作条件下采集精确的光功率-电流-电压（L-I-V）曲线。4 通道架构支持同时测试多个激光器或进行多温度点并行表征。
晶体管直流参数检定
2606B 可对 MOSFET、BJT、IGBT 等各类晶体管执行全面的直流参数表征，包括漏电流、门限电压、跨导、输出特性曲线等。6½ 位分辨率和 0.015% 基本精度确保亚阈值斜率和栅极漏电流等高精度测量需求。多通道能力允许同时偏置栅极和漏极，或对多引脚封装器件进行并行测试。
多引脚器件并行测试
对于多引脚 IC、MEMS 传感器、光电耦合器等多端口器件，2606B 的 4 条独立 SMU 通道可同时对多个引脚施加偏置并测量响应，大幅减少测试时间。TSP-Link 扩展后可达 64 通道，满足复杂 SoC 或 SiP 器件的全引脚并行直流参数测试需求。
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