吉时利 Keithley 2600-PCT参数波形记录仪
类别：
产品信息
产品简介
吉时利 Keithley 2600-PCT 系列参数波形记录仪是专为现代功率半导体器件研发与测试而设计的高性能测试系统，可全面替代传统晶体管图示仪。该系列支持 MOSFET、IGBT、二极管及其他大功率半导体器件的全面器件级检定，能够执行高功率同步 IV 曲线测试、电容-电压（C-V）曲线测试以及高功率脉冲 IV 测量，满足 SiC、GaN 等新型宽禁带半导体器件日益增长的测试需求。
2600-PCT 系列由多台吉时利精密仪器及配套软件、测试夹具集成而成，构成完整的参数测试解决方案。系统以 PCT 专用控制软件为核心，提供直观的图形化曲线追踪界面（TraceMode）与自动化参数测试模式（Parametric Test Mode），支持实时数据分析、图形自定义及结果导出，帮助工程师快速完成器件特性表征与可靠性评估。
系列产品共提供四种配置，电压范围覆盖 200 V 至 3 kV，电流范围覆盖 1 A 至 100 A，可按实际应用需求灵活选配，并支持现场升级改造，充分保护用户投资。
产品优势
替代传统晶体管图示仪的现代化解决方案
传统模拟晶体管图示仪受限于显示分辨率低、数据难以导出、功能扩展性差等固有缺陷，已难以满足现代功率器件的精密测试需求。2600-PCT 系列以数字化精密测量仪器为核心，配合高分辨率软件界面，提供远超传统图示仪的测量精度、动态范围与数据管理能力。所有测量数据均可直接导出至报告软件，大幅提升测试效率与文档规范性。
宽动态测量范围
2600-PCT 系列具备业界领先的宽动态测量范围，电压覆盖 µV 至 3 kV，电流覆盖 fA 至 100 A，能够在单一系统内完成从微弱漏电流到大电流通态特性的全面测量。超低电流分辨率（fA 级）确保了关态漏电和亚阈值特性测量的精准性，而高达 3 kV 的电压能力则满足了高压功率器件击穿测试的严苛要求。
全量程 C-V 测量能力
系统集成 C-V 测量模块，电容量程覆盖 fF 至 µF，支持 2 端、3 端及 4 端器件配置，可在高达 3 kV 的直流偏置条件下执行精密电容-电压特性测量。这一能力对于 MOSFET、IGBT等器件的栅极电容特性表征以及 p-n 结电容特性分析具有重要意义，有效解决了传统设备在高偏置条件下 C-V 测量精度不足的问题。
灵活可配置的功率等级
针对不同功率半导体器件的测试需求，2600-PCT 系列提供四种功率配置，电压从 200 V 到 3 kV，电流从 10 A 到 50 A，用户可根据实际测试对象选择最经济适用的配置。同时，系统支持现场升级改造，可将现有 PCT 配置升级为更高功率等级，或转换为晶圆分类测试仪及可靠性测试系统，实现投资价值的最大化利用。
高性能测试夹具与探头接口
系统配备专用高性能测试夹具（8010 型），支持多种封装形式的分立器件直接测试，同时提供探针台接口，兼容主流探针台及测试工作站。接口方案支持高压同轴三线电缆（HV Triax）、SHV 同轴电缆及标准同轴三线电缆等多种互连方式，确保高压大电流测试下的信号完整性与安全性。
直观的图形化软件平台
PCT 专用软件提供类似传统图示仪的直观曲线追踪界面（TraceMode），工程师无需编程即可快速完成 IV/CV 特性曲线测量与实时观测。参数化测试模式（Parametric Test Mode）支持自动化多参数扫描与批量测试，测量结果可导出至 Word、Excel 等通用办公软件，方便数据管理与报告生成。
产品参数
系统测量范围
参数 | 规格范围 | 备注 |
电压范围（高压模式） | 200 V 至 3 kV | 取决于型号配置 |
电流范围（大电流模式） | 1 A 至 100 A | 取决于型号配置 |
电压动态范围 | µV 至 3 kV | 全系列 |
电流动态范围 | fA（飞安）至 100 A | 全系列 |
电压分辨率 | µV 级 | — |
电流分辨率 | fA 级 | — |
电容-电压（C-V）测量规格
参数 | 规格 | 说明 |
电容测量范围 | fF（飞法）至 µF（微法） | 全量程覆盖 |
最大 DC 偏置电压 | 3 kV | 高压偏置条件下测量 |
支持器件端口数 | 2端 / 3端 / 4端 | 适配不同器件配置 |
测量频率 | 支持多频率 | 需配 PCT-CVU 选件 |
C-V 模块选件 | PCT-CVU | 多频 CV 测量仪模块 |
IV 曲线测试规格
测试类型 | 参数 | 说明 |
同步 IV 曲线测试 | 高功率 IV 特性扫描 | 同步采集电流与电压 |
高功率脉冲 IV 测试 | 脉冲宽度可配置 | 降低器件热效应影响 |
击穿电压测试（BVdss） | 最高 3 kV | 适用于高压功率器件 |
通态电流测试（Id(on)） | 最高 100 A | 适用于大电流器件 |
漏电流测试（IDSS） | fA 级灵敏度 | 超低电流精密测量 |
栅极阈值电压（Vth） | 精密直流扫描 | 低电流触发检测 |
软件功能规格
功能特性 | 说明 |
操作模式 | 曲线追踪模式（TraceMode）+ 参数测试模式（Parametric Test Mode） |
实时显示 | 高分辨率 IV/CV 曲线实时绘制与更新 |
图形自定义 | 坐标轴范围、标注、颜色、线型均可自定义配置 |
数据分析 | 支持屏幕在线数据分析与标注 |
数据导出 | 可导出至 Word、Excel 等通用报告软件 |
测试自动化 | 支持批量参数扫描与自动化序列测试 |
系统升级 | 支持软件授权升级至可靠性测试或晶片分类功能 |
仪器配置
2600-PCT 系列参数波形记录仪采用模块化系统集成方案，以多台吉时利精密仪器为核心，结合专用软件与测试夹具构成完整测试系统。以下为系统主要组成部分。
系统核心仪器组成
仪器 | 型号 | 主要功能 |
高功率 SMU（大电流） | 2651A | 提供最高 40V/50A 大电流输出，用于通态特性测试 |
高压 SMU | 2657A | 提供最高 3kV/120mA 高压输出，用于击穿电压测试 |
标准 SMU | 2636B / 2602B | 提供精密直流激励与测量，用于辅助测量通道 |
C-V 测量模块 | 4215-CVU（选配） | 提供多频 C-V 测量能力，最高 3kV 偏置 |
测试夹具 | 8010 | 分立器件封装适配夹具 |
系统机架 | 标准 2U/4U 机架 | 集成安装所有仪器模块 |
PCT 控制软件 | PCT Software | 曲线追踪与参数测试专用控制软件 |
探头接口与连接方式
接口类型 | 规格 | 适用场景 |
HV 同轴三线电缆 | 高压三芯同轴，最高 3kV | 高压测试，HV-CA-554 系列 |
SHV 同轴电缆 | 安全高压同轴 | 高压探针台连接 |
标准同轴三线电缆 | 标准三芯同轴 | 常规测试夹具连接 |
HV 馈通连接器 | HV-CS-1613 | 高压三芯同轴插孔馈通 |
可选附件
附件型号 | 描述 | 用途 |
8010 | 265xA 系列测试夹具 | 分立功率器件封装直接测试 |
8020 | 高压测试夹具 | 高压器件测试适配 |
PCT-CVU | 多频 C-V 测量仪模块 | 电容-电压特性精密测量 |
HV-CA-554-1 | 高压三芯同轴电缆，1 m，插头至插头 | 短距高压互连 |
HV-CA-554-2 | 高压三芯同轴电缆，2 m，插头至插头 | 中距高压互连 |
HV-CA-554-3 | 高压三芯同轴电缆，3 m，插头至插头 | 长距高压互连 |
HV-CS-1613 | 高压三芯同轴插孔馈通连接器 | 测试舱壁穿馈连接 |
产品型号
2600-PCT 系列共提供四种标准配置，分别针对低功率基础测试、高电流大功率测试、高压器件测试及高电流高电压全功能测试四种典型应用场景。各型号均可在现场升级改造，按需扩展功能配置。
型号规格对比
型号 | 配置定位 | 高压模式（最大值） | 大电流模式（最大值） | 典型应用 |
2600-PCT-1B | 低功率基础型 | 200 V / 10 A | 200 V / 10 A | 低压器件特性表征、基础 IV/CV 测试 |
2600-PCT-2B | 高电流型 | 200 V / 10 A | 40 V / 50 A | 大电流功率MOSFET 通态测试、通态电阻测量 |
2600-PCT-3B | 高压型 | 3 kV / 120 mA | 200 V / 10 A | 高压 IGBT / SiC 二极管击穿电压测试 |
2600-PCT-4B | 高电流+高电压全功能型 | 3 kV / 120 mA | 40 V / 50 A | SiC MOSFET / GaN 器件全参数测试 |
选型建议
请根据被测器件的电压与电流等级参考以下选型建议：
应用需求 | 推荐型号 | 说明 |
低压器件基础测试（≤200V / ≤10A） | 2600-PCT-1B | 性价比最优，适合一般低功率器件 |
大电流功率器件测试（≤40V / ≤50A） | 2600-PCT-2B | 专为大电流 MOSFET 通态测试设计 |
高压器件测试（≤3kV / ≤120mA） | 2600-PCT-3B | 满足 SiC/GaN 高压击穿测试需求 |
高压+大电流全参数测试 | 2600-PCT-4B | 旗舰配置，覆盖全部测试需求 |
所有型号均支持现场升级改造，可根据业务发展需要逐步扩充测试能力，有效保护前期投资，降低系统更新成本。
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