产品信息
产品简介
Keithley 6517B 是全球科研实验室灵敏测量的行业标准，融合了吉时利 60 多年弱电测量专业积累。作为 5½ 位高精度静电计与高阻表，6517B 提供 10 aA（10⁻¹⁷ A）电流分辨率、最高 10¹⁸ Ω 电阻测量能力，以及内置 ±1000 V 高压源，在功能深度和测量性能上均居行业领先地位。
6517B 配备 425 读数/秒的高速测试速率，支持选配扫描卡（最多 10 通道），并提供完整的高电阻率测量解决方案（配合 8009 测试夹具和 KickStart 软件，符合 ASTM D257 标准），是材料科学、半导体研究和绝缘测试领域的重要工具。
产品优势
业界领先电流灵敏度
6517B 提供 10 aA（10⁻¹⁷ A）的电流测量分辨率和 10 aA 的电流范围起点，输入偏置电流 <3 fA，可可靠测量极微弱的漏电流、光电流及离子电流，是单电子器件、量子材料研究的理想仪器。
超高阻值测量
在常规模式下可测量至 200 TΩ，通过变换极性法手动计算可延伸至 10¹⁸ Ω（10 PΩ），远超同类产品。适用于高分子绝缘材料、陶瓷介质膜、光刻胶及聚合物薄膜的电阻率表征。
内置 ±1000 V 高压源
集成双极性 ±1000 V 电压源（精度 0.15%），支持电压扫描功能，无需外接高压源即可完成高阻/绝缘材料的电压加载测试，简化测试系统搭建，降低测量风险。
完整 ASTM D257 高阻率测量方案
6517B + 8009 电阻率测试夹具 + KickStart 高电阻率应用软件，构成符合 ASTM D257 国际标准的完整测量系统，可自动完成材料体积电阻率（Ω·cm）和表面电阻率（Ω/□）的测量与报告生成。
多通道扫描能力
选配 6521（低电流）或 6522（电压/低电流）扫描卡，每张卡提供 10 个独立测量通道，可对多个器件或样本进行序列测量，大幅提升测试效率。
温湿度同步监测
内置温湿度测量功能（K 型热电偶，−25°C～150°C；6517-RH 湿度探头 0～100% RH），可将温湿度数据与测量结果实时关联存储，为材料性能与环境条件的相关性分析提供数据支撑。
产品参数
电流测量规格
量程 | 分辨率 | 准确度 ±(%+偏置) | 输入偏置电流 |
20 pA | 10 aA | 1 + 3 fA | < 3 fA @ 23°C |
200 pA | 100 aA | 1 + 5 fA | — |
2 nA | 1 fA | 0.2 + 300 fA | — |
20 nA | 10 fA | 0.2 + 500 fA | — |
200 nA | 100 fA | 0.2 + 5 pA | — |
2 μA | 1 pA | 0.1 + 100 pA | — |
20 μA | 10 pA | 0.1 + 500 pA | — |
200 μA | 100 pA | 0.1 + 5 nA | — |
2 mA | 1 nA | 0.1 + 100 nA | — |
20 mA | 10 nA | 0.1 + 500 nA | — |
电压测量规格
量程 | 分辨率 | 准确度 ±(%+偏置) | 输入阻抗 |
2 V | 1 μV | 0.025 + 40 μV | > 200 TΩ ∥ 20 pF |
20 V | 10 μV | 0.025 + 300 μV | > 200 TΩ |
200 V | 100 μV | 0.06 + 3 mV | > 200 TΩ |
电阻测量规格（常规法）
量程 | 分辨率 | 准确度 ±(%+偏置) | 自动电压源 |
2 MΩ | 1 Ω | 0.125 + 10 Ω | 40 V |
20 MΩ | 10 Ω | 0.125 + 100 Ω | 40 V |
200 MΩ | 100 Ω | 0.15 + 1 kΩ | 40 V |
2 GΩ | 1 kΩ | 0.225 + 10 kΩ | 40 V |
20 GΩ | 10 kΩ | 0.225 + 100 kΩ | 40 V |
200 GΩ | 100 kΩ | 0.35 + 1 MΩ | 40 V |
2 TΩ | 1 MΩ | 0.35 + 10 MΩ | 400 V |
20 TΩ | 10 MΩ | 1.025 + 100 MΩ | 400 V |
200 TΩ | 100 MΩ | 1.15 + 1 GΩ | 400 V |
内置电压源规格
量程 | 分辨率 | 准确度 ±(%+偏置) | 最大输出电流 |
100 V | 5 mV | 0.15 + 10 mV | ±10 mA |
1000 V | 50 mV | 0.15 + 100 mV | ±1 mA |
电荷测量规格
量程 | 分辨率 | 准确度 ±(%+偏置) |
2 nC | 1 fC | 0.4 + 50 fC |
20 nC | 10 fC | 0.4 + 500 fC |
200 nC | 100 fC | 0.4 + 5 pC |
2 μC | 1 pC | 0.4 + 50 pC |
综合技术参数
参数 | 规格 |
显示分辨率 | 5½ 位 |
电流分辨率 | 10 aA（10⁻¹⁷ A） |
电阻测量上限 | 200 TΩ（常规）；10¹⁸ Ω（手动变极法） |
输入偏置电流 | < 3 fA @ 23°C |
内置电压源 | ±1000 V，±10 mA（100 V量程） |
读数速率（内部） | 425 读数/秒 |
读数存储 | 50,000 个读数 |
通信接口 | GPIB（IEEE-488.2）、RS-232 |
温度测量 | K型热电偶，−25°C ～ 150°C，精度 ±(0.3%+1.5°C) |
湿度测量 | 0 ～ 100% RH（选配 6517-RH 探头） |
外形尺寸 | 90 mm × 214 mm × 369 mm（H×W×D） |
净重 | 5.4 kg |
工作温度 | 0 ～ 50°C，相对湿度 ≤70%（≤35°C 不凝结） |
电源 | 100/120/220/240 VAC ±10%，50/60 Hz，最大 100 VA |
仪器配置
标配附件
• 低噪声三同轴电缆（237-ALG-2，3槽三同轴至鳄鱼夹，2 m）
• 安全高压双测试线（8607）
• 热电偶温度探头（6517-TP）
• 互锁连接器（CS-1305）
• 使用手册
选配扫描卡
型号 | 功能 | 通道数 | 连接器 |
6521 | 低电流扫描 | 10 | BNC输入 / 三同轴输出 |
6522 | 电压/低电流扫描 | 10 | 三同轴输入/输出 |
高电阻率测量套件
6517B + 8009 电阻率测试夹具 + KickStart 高电阻率应用软件（KICKSTARTFL-HRMA2）构成完整 ASTM D257 标准测量系统，最高测试电压 1000 V，最高电阻率 10¹⁸ Ω·cm，支持温湿度关联分析与报告生成。
典型应用场景
• 绝缘材料体积/表面电阻率（ASTM D257标准）
• 半导体器件泄漏电流、栅极漏电测量
• 纳米线、纳米管、聚合物薄膜电气表征
• 光电检测器及光电器件特性测量
• 电化学、pH 测量与离子选择电极研究
• 波束测量与剂量测定
• 太阳能电池特性分析
产品型号
主机型号
型号 | 描述 | 主要配置 |
6517B | 静电计/高阻表（标准型） | 5½位，±1000V内置源，10 aA分辨率，GPIB+RS-232 |
6517B/E | 欧规出口版 | 同6517B，适配欧洲电源与安规标准 |
选配软件型号
型号 | 描述 |
KICKSTARTFL-HRMA2 | KickStart 高电阻率应用软件（永久浮动许可） |
KICKSTARTFL-HRMA2-UP | KickStart 年度维护许可（扩展永久浮动许可） |
KICKSTARTFL-HRMA2-AN | KickStart 高电阻率应用软件（1年期浮动许可） |
选型建议
若仅需高性价比静电计（无内置高压源），可选 6514；若需要内置 ±1000 V 高压源、超高阻（>200 GΩ）测量或高电阻率测量完整解决方案，选 6517B；若需要亚飞安极低电流测量及远端前置放大器，选 6430。
关键词：
获取报价
我们将在一个工作日内与您联系。请注意您的手机来电。
扫一扫
了解更多信息 >