产品信息
产品简介
Keithley 6514 是一款 5½ 位高精度可编程静电计，专为快速、准确的低电流、高源内阻电压、电荷及高阻测量而设计。仪器集成 IEEE-488（GPIB）与 RS-232 双通信接口及可编程数字 I/O，可方便地融入自动化测试系统。在价格相当于高档数字万用表的定位下，6514 提供了远超普通仪表的电流灵敏度与阻抗测量能力，是实验室和生产线的理想选择。
6514 的电流噪声低于 1 fA，电荷测量范围覆盖 10 fC 至 20 μC，电压测量输入阻抗超过 200 TΩ，读数速率高达 1200 次/秒，在同类产品中具备显著竞争优势。
产品优势
超低电流噪声
6514 的电流噪声低于 1 fA（峰峰值），输入偏置电流极小，能够可靠分辨皮安级甚至飞安级信号，满足最苛刻的微弱信号测量需求。
超高输入阻抗（>200 TΩ）确保高源阻抗被测器件的负载影响可忽略不计，保证测量的真实性与准确性。
宽动态测量范围
四大测量功能一机兼备：电流覆盖飞安至毫安（<1 fA～20 mA）、电压覆盖微伏至 200 V、电阻达 200 GΩ、电荷从 10 fC 到 20 μC。
宽达 11 个数量级的电流动态范围，使 6514 能在单台仪器上完成从极弱漏电到工作电流的全范围特性分析。
高速测量能力
最高 1200 读数/秒的测量速率，比同类静电计快数倍，显著缩短自动化测试的节拍时间，提升吞吐量。
主动偏移消除
内置主动消除技术，可有效清除电压与电流的偏移误差，确保长时间、连续测试中的数据一致性与重复性。
灵活系统集成
标配 IEEE-488（GPIB）和 RS-232 两种通信接口，以及可编程数字 I/O，可与示波器、SMU、开关矩阵等仪器协同构建完整的自动化测试解决方案。
三同轴输入连接器提供良好的电磁屏蔽，最大程度抑制外界噪声干扰，保障微弱信号测量精度。
经济实用
在相当于高档数字万用表的价格区间内，6514 提供了媲美专业静电计的全面测量能力，性价比突出，适合对成本敏感但不妥协于测量精度的应用场景。
产品参数
电流测量规格
量程 | 分辨率 | 主要特性 |
20 pA | 10 fA | 低噪声 < 1 fA |
200 pA | 100 fA | 高灵敏度 |
2 nA | 1 pA | — |
20 nA | 10 pA | — |
200 nA | 100 pA | — |
2 μA | 1 nA | — |
20 μA | 10 nA | — |
200 μA | 100 nA | — |
2 mA | 1 μA | — |
20 mA | 10 μA | — |
电压测量规格
量程 | 分辨率 | 输入阻抗 |
2 V | 1 μV | > 200 TΩ 并联 < 20 pF |
20 V | 10 μV | > 200 TΩ |
200 V | 100 μV | > 200 TΩ |
电阻测量规格
量程 | 分辨率 | 说明 |
10 Ω ～ 200 MΩ | 0.001% | 低量程，高精度 |
200 MΩ ～ 2 GΩ | 0.1% | — |
2 GΩ ～ 20 GΩ | 0.1% | — |
20 GΩ ～ 200 GΩ | 1% | 高量程 |
电荷测量规格
量程 | 分辨率 | 说明 |
2 nC | 1 fC | — |
20 nC | 10 fC | — |
200 nC | 100 fC | — |
2 μC | 1 pC | — |
20 μC | 10 pC | — |
综合技术参数
参数 | 规格 |
显示分辨率 | 5½ 位 |
电流噪声 | < 1 fA 峰峰值 |
输入阻抗 | > 200 TΩ（电压测量模式） |
输入端压降 | 低至 20 μV |
最高读数速率 | 1200 读数/秒 |
通信接口 | IEEE-488（GPIB）、RS-232 |
数字 I/O | 可编程，内置 |
输入连接器 | 三同轴（3-Slot Triax） |
工作温度 | 0°C ～ 50°C |
电源 | 100/120/220/240 VAC ±10%，50/60 Hz |
仪器配置
标配附件
• 低噪声三同轴电缆（3槽三同轴至鳄鱼夹，2米）
• 安全高压双测试线（8607）
• 使用手册
选配附件
型号 | 描述 |
7007-1 / 7007-2 | 屏蔽 GPIB 电缆（1 m / 2 m） |
7009-5 | RS-232 测试电缆 |
7078-TRX-x | 低噪声三同轴电缆（0.9 m / 3 m / 6 m） |
KPCI-488LPA | PCI 总线 IEEE-488 接口/控制器 |
KUSB-488B | USB 转 GPIB 接口适配器 |
4288-1/2/4/5 | 机架安装套件（多规格） |
典型应用场景
• 单电子器件、高阻纳米线、纳米管特性研究
• 聚合物材料电气特性分析
• 电容器、二极管泄漏电流测量
• 绝缘材料体积/表面电阻率测量
• 光电检测器与光电器件表征
• 电化学、离子选择电极及 pH 测量
• 元件、模块生产线品控测试
产品型号
型号说明
型号 | 描述 | 主要特性 |
6514 | 可编程静电计（标准型） | 5½位，电流/电压/电阻/电荷四合一，1200读数/秒 |
6514/E | 欧规出口版 | 同 6514，适配欧洲电源与安规标准 |
与 6517B 对比选型
6514 定位为不需要内置电压源的高性价比静电计，适合主要以外部电压偏置进行高阻/漏电测量的场景；若需要内置 ±1000 V 高压源、10 aA 超高分辨率或最高 10¹⁸ Ω 电阻测量，推荐选用 6517B。
对比项 | 6514 | 6517B |
定位 | 高性价比静电计 | 全功能高阻测量仪 |
电流分辨率 | 1 fA | 10 aA |
电阻上限 | 200 GΩ | 10¹⁸ Ω（手动模式） |
内置电压源 | 无 | ±1000 V |
读数速率 | 1200 读数/秒 | 425 读数/秒（内部缓存） |
扫描卡 | 不支持 | 选配 6521/6522（10通道） |
适用场景 | 泄漏/低电流/电荷测量 | 高阻/电阻率/高压偏置测量 |
关键词：
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