产品信息
产品简介
吉时利 Keithley 6485 皮安表是 6400 系列皮安表中的高性价比旗舰机型，专为低电平电流测量而设计。其 5½ 位分辨率配合 10 fA 超高灵敏度，使其成为半导体器件漏电流表征、光电器件暗电流测量以及工业传感器回路测试的理想选择。
6485 的量程从 2 nA 延伸至 20 mA，横跨七个数量级，无需更换仪器即可覆盖从皮安级微弱信号到毫安级工业电流的全部测量需求。结合最高 1000 readings/s 的读数速率，6485 是 Keithley 有史以来速度最快的皮安表，完全满足现代高吞吐量生产测试的严苛要求。
仪器内置模拟输出接口，可将测量结果实时传输至示波器、数据采集卡或条形图记录仪，便于信号响应分析和趋势监测。触发链路接口将六条独立触发线集成于单一连接器，大幅简化与电压源及其他仪器的同步控制配置。
产品优势
超低电流测量能力
6485 具备 10 fA（飞安）分辨率，能够可靠测量元器件中极微弱的漏电流、光学器件中的暗电流以及扫描隧道显微镜等仪器中的射束电流，适合需要最高灵敏度的精密科研和研发应用。
极低输入端电压负担
反馈式皮安表设计将输入端电压负担控制在 200 µV 以下，相比传统分流式电流计减少了数个数量级。这意味着在源电压极低或被测电路对电压扰动敏感的场景下，6485 可实现近乎无干扰的真实电流测量。
高速读数满足生产测试需求
内部触发模式下读数速率高达 1000 readings/s，是 Keithley 历史上最快的皮安表。该速率比传统 60 Hz 工频积分模式快 16 倍以上，可大幅提升测试产能，降低 ATE 测试成本。
宽量程覆盖多样应用
8 个电流量程从 2 nA 延伸至 20 mA，单台仪器即可覆盖研发与生产两类场景。20 mA 量程专门适配工业 4-20 mA 传感器回路测量，无需额外仪器切换，提升测试系统灵活性。
内置模拟输出与触发链路
模拟输出将数字量程实时转换为±10 V 模拟信号，可直接驱动示波器或记录仪，便于捕捉瞬态响应。触发链路接口支持精密同步触发，可在皮安表与电压源、万用表之间构建严格时序的自动化测试系统。
坚固设计与过压保护
220 V 最大输入电压（相对机壳地）的过压保护设计，使仪器在实验室和工厂环境中均能承受意外过载，无需担心由误操作或瞬态脉冲造成的仪器损坏，显著降低设备维护成本。
兼容 6485 旧型号仿真模式
6485 内置 485 型仿真模式，可无缝替换已有测试系统中的旧款 485 型皮安表，无需修改测试程序或控制软件，有效保护现有 ATE 系统投资。
产品参数
电流测量量程与准确度
下表列出 6485 各量程的分辨率及 1 年/23°C±5°C 条件下的准确度指标。
量程 | 分辨率 | 准确度（1年，23°C±5°C） |
2 nA | 1 fA | ±(0.4% rdg + 500 fA) |
20 nA | 10 fA | ±(0.4% rdg + 500 fA) |
200 nA | 100 fA | ±(0.4% rdg + 2 pA) |
2 µA | 1 pA | ±(0.4% rdg + 20 pA) |
20 µA | 10 pA | ±(0.4% rdg + 200 pA) |
200 µA | 100 pA | ±(0.4% rdg + 2 nA) |
2 mA | 1 nA | ±(0.4% rdg + 20 nA) |
20 mA | 10 nA | ±(0.4% rdg + 200 nA) |
读数速率与响应特性
6485 支持多种积分时间设置（NPLC），可在读数速率与测量精度之间灵活权衡。
读数模式 | 典型读数速率 | 说明 |
快速模式（0.01 NPLC） | 1000 readings/s | 最高速度，适合生产测试 |
标准模式（0.1 NPLC） | 500 readings/s | 速度与精度均衡 |
精密模式（1 NPLC） | 60 readings/s | 60 dB 工频抑制 |
高精度模式（10 NPLC） | 6 readings/s | 最高准确度 |
输入特性
参数 | 规格 |
输入偏置电流 | < 4 fA（典型值，23°C） |
输入电压负担 | < 200 µV（2 nA～200 µA 量程）；< 1 mV（20 mA 量程） |
最大输入电压 | ± 220 V（峰值，相对机壳地） |
最大输入电容 | 稳定至 10 nF（nA 量程及 2 µA 量程）；1 µF（≥20 µA 量程） |
输入连接器 | 三轴 BNC（Triax） |
数字滤波 | 1～100 次移动平均 |
通用技术规格
参数 | 规格 |
显示分辨率 | 5½ 位 |
数据缓冲区 | 2500 条读数（含测量值与时间戳） |
通信接口 | IEEE-488.2 (GPIB)、RS-232 |
模拟输出 | ±10 V 满量程，输出阻抗 1 kΩ |
触发方式 | 内部 / 外部 / 手动 / 总线触发 |
工作温度 | 0°C ～ 50°C |
电源 | 100/120/220/240 VAC，50/60 Hz，约 15 VA |
尺寸（H×W×D） | 88 mm × 213 mm × 369 mm（半机架宽） |
重量 | 约 2.5 kg |
仪器配置
推荐配套仪器
6485 皮安表可与以下 Keithley 仪器配合，构建更完整的测试解决方案：
仪器型号 | 类型 | 与 6485 配合用途 |
6220 / 6221 | 超低噪声电流源 | Delta 模式微弱电阻测量 |
2400 系列 | 源测量单元（SMU） | I-V 特性曲线测试 |
6517B | 静电计/高阻表 | 高阻材料与绝缘测试 |
7001 | 扫描开关矩阵 | 多通道自动扫描测试 |
DAQ6510 | 数据采集万用表 | 多点数据采集与记录 |
2182A | 纳伏表 | 低阻测量与热电势补偿 |
可选附件
附件型号 | 说明 |
237-ALG-2 | 低噪声三轴同轴电缆（2 m） |
237-TRX-BAR | 三轴转接线夹 |
4288-1 | 单台固定机架安装套件 |
4288-2 | 双台固定机架安装套件 |
4801 | 低噪声 BNC 输入电缆（1.2 m） |
7007-1 | 屏蔽 GPIB 电缆（1 m） |
7078-TRX-BNC | 三轴 BNC 适配器 |
8501-1 | 触发链路电缆 |
典型应用场景
● 半导体器件测试：MOS 栅极漏电流、结漏电流、CMOS 静态电流测量
● 光电器件表征：光电二极管暗电流、CCD/CMOS 图像传感器漏电特性
● 显微仪器：扫描隧道显微镜（STM）、离子束设备的射束电流测量
● 工业传感器：4-20 mA 传感器回路精密测量与校验
● 材料科学：绝缘薄膜、纳米材料导电特性研究
● 生产测试：高速批量器件筛选与参数一致性测试
产品型号
6485 系列提供以下标准型号，满足全球不同市场的采购需求：
型号 | 适用地区 | 电流范围 | 接口 |
6485 | 全球（除日本） | 2 nA ～ 20 mA（8量程） | GPIB、RS-232 |
6485/J | 仅限日本市场 | 2 nA ～ 20 mA（8量程） | GPIB、RS-232 |
6400 系列选型建议
6400 系列覆盖从经济实惠到功能全面的多种配置，下表可帮助快速选型：
型号 | 通道数 | 电流范围 | 内置电压源 | 最佳适用场景 |
6485 | 1 | 2 nA ～ 20 mA | 无 | 基础皮安测量，高性价比 |
6487 | 1 | 2 nA ～ 20 mA | ±500 V（10 V/50 V/500 V） | 绝缘电阻测试，需高压偏置 |
6482 | 2 | 2 nA ～ 20 mA | ±30 V（双路独立） | 双通道比率测量，光电探测 |
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