产品信息
产品简介
吉时利 Keithley 6487 皮安表/电压源是在 6485 皮安表基础上的功能增强型号，在继承全部皮安测量能力的同时，集成了一路高分辨率 ±500 V 电压源。这一独特组合使 6487 成为绝缘电阻测试、器件 I-V 特性扫描以及漏电流随偏压变化研究的理想一体化解决方案。
6487 采用反馈式皮安表架构，将输入端电压负担降低至不足 200 µV，远优于传统分流式设计。内置电压源可在 0 ～ ±505 V 范围内输出，分辨率达 50 mV（高压量程），并提供可编程限流保护，有效防止被测器件过流损伤。结合仪器内置的 I-V 扫描功能，用户无需借助外部控制程序即可快速完成基础 I-V 曲线测量。
6487 内置 500 V 过压保护，坚固设计可承受偶发的电压源短路等恶劣情况，特别适合对可靠性有严格要求的工厂和实验室环境。
产品优势
皮安测量与高压源完美集成
6487 将 5½ 位皮安表与 ±500 V 高分辨率电压源集于一体，无需额外电压源即可完成绝缘电阻、薄膜材料漏电流等需要高偏压的测量任务，减少系统仪器数量，降低误差源和连接复杂度。
反馈式设计实现超低电压负担
反馈放大器架构使输入端电压负担低于 200 µV，比传统分流式电流计改善数个数量级。在测量高阻抗器件或微弱漏电流时，极低的电压负担确保测量不会干扰被测电路的工作状态，获得真实的电气特性数据。
内置 I-V 自动扫描功能
6487 内置 I-V 扫描功能，可在不借助外部控制器的情况下，自动对内置电压源进行线性或对数步进扫描，同步测量各偏压下的电流值，快速绘制完整的 I-V 特性曲线，大幅缩短器件初步表征的时间。
高压电阻测量能力
借助内置 ±500 V 电压源与皮安级电流测量的组合，6487 可采用 V/I 法测量高达 10 TΩ 的超高阻值，适用于绝缘材料、高阻薄膜、高电阻值电阻器以及半导体绝缘层的电阻率表征。
可编程限流保护防止器件损伤
内置电压源提供可编程限流功能（0.25 µA ～ 2.5 mA），在为敏感器件施加高偏压时自动限制最大电流，防止因过流造成的器件永久损坏，提升测试安全性和系统可靠性。
500 V 过压保护与坚固设计
仪器具备 500 V 过压保护能力，即使在偶发的电压源直接短路等误操作情况下也能保持完好。坚固的机械结构适合工厂环境下的长期稳定工作，降低维护成本和停机风险。
兼容主流 ATE 接口与编程环境
6487 标配 IEEE-488（GPIB）和 RS-232 接口，完全兼容 SCPI 命令集，可无缝集成至现有 LabVIEW、Python、MATLAB 等主流测试环境，也支持 Keithley KickStart 软件进行无编程快速测量。
产品参数
电流测量量程与准确度
下表列出 6487 各量程的分辨率及 1 年/23°C±5°C 条件下的准确度指标。
量程 | 分辨率 | 准确度（1年，23°C±5°C） |
2 nA | 1 fA | ±(0.4% rdg + 600 fA) |
20 nA | 10 fA | ±(0.4% rdg + 2 pA) |
200 nA | 100 fA | ±(0.4% rdg + 20 pA) |
2 µA | 1 pA | ±(0.4% rdg + 200 pA) |
20 µA | 10 pA | ±(0.4% rdg + 2 nA) |
200 µA | 100 pA | ±(0.4% rdg + 20 nA) |
2 mA | 1 nA | ±(0.4% rdg + 200 nA) |
20 mA | 10 nA | ±(0.4% rdg + 2 µA) |
内置电压源规格
内置电压源覆盖 0 ～ ±505 V，分三个量程输出，提供高精度程控电压及可编程限流保护。
量程 | 分辨率 | 准确度（1年） | 最大输出电流 |
±10 V | 1 mV | ±(0.1% + 2 mV) | 10 mA |
±50 V | 10 mV | ±(0.1% + 20 mV) | 10 mA |
±500 V | 50 mV | ±(0.1% + 100 mV) | 10 mA |
电阻测量能力（V/I 法）
参数 | 规格 |
测量原理 | V/I 法（内置电压源 + 电流测量联动） |
典型测量范围 | 1 kΩ ～ 10 TΩ |
准确度 | 由电压源与电流量程准确度共同决定 |
I-V 扫描 | 内置线性/对数步进扫描，支持自动完成 |
通用技术规格
参数 | 规格 |
读数速率 | 最高 1000 readings/s（内部触发） |
输入偏置电流 | < 4 fA（典型值，23°C） |
输入电压负担 | < 200 µV（所有 nA/µA 量程） |
最大输入电压 | ± 500 V（相对机壳地，过压保护） |
数据缓冲区 | 3000 条读数 |
通信接口 | IEEE-488.2 (GPIB)、RS-232 |
触发方式 | 内部 / 外部 / 手动 / 总线 |
工作温度 | 0°C ～ 50°C |
电源 | 100/120/220/240 VAC，50/60 Hz，约 35 VA |
尺寸（H×W×D） | 89 mm × 214 mm × 369 mm |
重量 | 约 2.9 kg |
仪器配置
推荐配套仪器
6487 可与以下 Keithley 仪器组合，构建更完整的精密电学测量系统：
仪器型号 | 类型 | 与 6487 配合用途 |
7001 / 707B | 扫描开关矩阵 | 多器件自动扫描绝缘测试 |
4200A-SCS | 参数分析仪 | 半导体器件全面 I-V/C-V 分析 |
2182A | 纳伏表 | 配合 6487 实现精密低阻测量 |
6220 / 6221 | 精密电流源 | 差分电阻/Delta 模式低阻测量 |
DAQ6510 | 数据采集万用表 | 多通道温度与电气参数同步监测 |
可选附件
附件型号 | 说明 |
237-ALG-2 | 低噪声三轴同轴电缆（2 m） |
237-TRX-BAR | 三轴转接线夹 |
8009 | 电阻率测试夹具（配合高阻率测量） |
4288-1 | 单台固定机架安装套件 |
4288-2 | 双台固定机架安装套件 |
7007-1 | 屏蔽 GPIB 电缆（1 m） |
8501-1 | 触发链路电缆 |
KXLR-8003 | 高压测试线（500 V 额定） |
典型应用场景
● 绝缘电阻测试：薄膜材料、绝缘层、电缆、PCB 板的高阻测量（ASTM D257）
● 半导体器件：栅极氧化层完整性（GOI）测试、接触电阻测量
● 光电器件：施加偏压条件下的暗电流-偏压（Id-Vd）特性表征
● 电化学研究：电化学电池界面阻抗与漏电流测量
● 纳米材料：碳纳米管、石墨烯等纳米尺度器件的 I-V 特性
● 可靠性测试：高温高压应力条件下的绝缘退化（TDDB）加速测试
产品型号
6487 提供以下标准配置，选型时可根据市场地区和附件需求进行选择：
型号 | 适用地区 | 电流量程 | 内置电压源 |
6487 | 全球（除日本） | 2 nA ～ 20 mA | ±500 V / 10 mA |
6487/J | 仅限日本市场 | 2 nA ～ 20 mA | ±500 V / 10 mA |
6400 系列型号对比
下表汇总 6400 系列三款皮安表的主要差异，便于快速选型：
型号 | 通道数 | 内置电压源 | 最大电压 | 最佳适用场景 |
6485 | 1 | 无 | — | 基础低电流测量，高性价比 |
6487 | 1 | 有（3档量程） | ±500 V | 绝缘测试、高压偏置 I-V 表征 |
6482 | 2 | 有（双路） | ±30 V | 双通道比率测量、阵列器件测试 |
关键词：
获取报价
我们将在一个工作日内与您联系。请注意您的手机来电。
扫一扫
了解更多信息 >