P
产品中心
RODUCTS
奕叶探针台
单手X/Y操控：同轴旋钮便于快速寻找目标，并在下针前完成稳定的精细定位。
显微观察完整：显微镜 X/Y 约 2″ × 2″，兼顾粗调、细调和较长 Z 向调焦行程。
多尺寸真空卡盘：覆盖 4、6、8、12 英寸，支持小裸片至晶圆样品。
模块化扩展：可组合 DC/RF 探针座、探针卡、温控卡盘、屏蔽和防震系统。
如果实验样品需要在不同温度下进行分析测量，这时就可能需要热吸盘(Hot Chuck)或者低温(Cryogenic)系统,
在较高温度或低温下还可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
热吸盘(Hot Chuck)
1.采用低噪声直流驱动
2.绝缘套件用于低电流(pA)测试
3. 配备水冷装置，快速将加热卡盘降至室温
4. 大多数探针台可安装
5. 不需特殊连接适配器即可安装
6. 卡盘材质为不锈钢，以获取最佳均温性，避免重金属沾污
7. 配备温度控制器，可选多种加温曲线
8. 设计有冷却隔绝装置，保证热吸盘温度不会通过金属传导而引起探针台整体精度下降
规格：卡盘尺寸3”, 4'', 6'', 8'', 12” dia. x 1'' Thick卡盘平坦度+/-10μm温度范围RT-200ﾟC温度分辨率0.1ﾟC温度准确度100ﾟC,±0.5ﾟC; 200ﾟC,±1ﾟC; 300ﾟC,±2ﾟC; 400ﾟC,±3ﾟC从25ﾟC加热到
4英寸卡盘所需时间(典型值)100ﾟC, 150ﾟC, 200ﾟC
2:00 3:30 5:004英寸卡盘所需时间 2:00 、 3:30 、5:00 加热驱动方式直流材料不锈钢 电源110 VAC, 60Hz
220 VAC, 50Hz加热功率4'' 700W ; 6'' 1000W ; 8'' 1500 W真空泵-250 mmHg, 7 liter/min水流量20 升/分钟 温度控制器
尺寸
重量
350mmW x 300mmD x 150mmH
20 kg 附件与升级：
温度最高可达 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
温度最低可达 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温77 °K
连接适配器，用于与其他品牌探针台的装配
方形卡盘，根据要求定制
更高精度、高均匀性、快速升温等，根据要求定制
水冷却槽
绝缘套件，用于低电流测试
液晶套件
真空罐
C-V测量附件
测量仪器与带脚轮的仪器机柜
真空圈，客户订制
镀金卡盘
镀镍卡盘
附件与升级：
温度最高可达 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
温度最低可达 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温77 °K
连接适配器，用于与其他品牌探针台的装配
方形卡盘，根据要求定制
更高精度、高均匀性、快速升温等，根据要求定制
水冷却槽
绝缘套件，用于低电流测试
液晶套件
真空罐
C-V测量附件
测量仪器与带脚轮的仪器机柜
真空圈，客户订制
镀金卡盘
镀镍卡盘
扫一扫
了解更多信息 >